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崔万鹏
作品数:
7
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供职机构:
北京大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
郝一龙
北京大学
高成臣
北京大学
刘冠东
北京大学
胡杭
北京大学
李哲
北京大学
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自动化与计算...
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压力传感器
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高温压力传感...
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7篇
北京大学
作者
7篇
刘冠东
7篇
高成臣
7篇
郝一龙
7篇
崔万鹏
3篇
李哲
3篇
胡杭
1篇
李灵毓
年份
1篇
2018
1篇
2017
5篇
2015
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高温压力传感器测试装置
本发明本发明公开了一种超高温度时压力传感器的测试装置,包括一端封闭另一端开放的不锈钢管1,热电阻2,三通接头5,航空插头6组成的密封测试部分,用于提供高温压力传感器测试所需的密封环境;电炉7组成的加热部分,用于提供高温压...
刘冠东
胡杭
崔万鹏
李哲
高成臣
郝一龙
文献传递
一种耐高温欧姆接触电极结构及其加工方法
本发明公开了一种耐高温欧姆接触电极结构及其加工方法,该电极结构自上而下包括:金导电层6,铂粘附层5,氮化钛阻挡层4,钛粘附层3,二硅化钛2/硅欧姆接触。使用硅化物自对准技术制备二硅化钛/硅欧姆接触,该接触有良好的热稳定性...
刘冠东
张帆顺
崔万鹏
高成臣
郝一龙
文献传递
一种高温压力传感器及其加工方法
本发明本发明公开了一种高温压力传感器及其加工方法,该压力传感器包括硅由敏感膜片,底座,TO管壳。其中敏感膜片采用SOI单晶硅圆片作为基片,在器件层加工电阻及引线互连组成惠斯登电桥,在衬底层进行各向异性腐蚀形成所述对压力敏...
刘冠东
崔万鹏
高成臣
郝一龙
文献传递
一种硅玻璃镶嵌结构微机械差分电容式压力计
本发明公开了一种微机械差分电容式压力计。该压力计的两个电容由4个电容极板组成:附于硅杯结构敏感膜片上的第一、第四极板与附于中间支撑层结构两表面的第二、第三极板。本压力计基于压力计结构中基本的硅杯结构,当压力作用于敏感膜片...
崔万鹏
刘冠东
胡杭
张帆顺
李哲
高成臣
郝一龙
文献传递
高温压力传感器测试装置
本发明公开了一种超高温度时压力传感器的测试装置,包括一端封闭另一端开放的不锈钢管1,热电阻2,三通接头5,航空插头6组成的密封测试部分,用于提供高温压力传感器测试所需的密封环境;电炉7组成的加热部分,用于提供高温压力传感...
刘冠东
胡杭
崔万鹏
李哲
高成臣
郝一龙
一种复杂硅玻璃混合结构圆片的加工方法
本发明公开了一种复杂硅玻璃混合结构晶圆的加工方法。复杂硅玻璃混合结构圆片包括不同形状的硅、玻璃、以及由硅与玻璃混合组成复杂的多维结构。该加工方法包括:在硅圆片上制备硅槽结构;将玻璃圆片之键合;或将玻璃粉填充至硅槽结构当中...
崔万鹏
刘冠东
李灵毓
桂一鸣
高成臣
郝一龙
文献传递
一种高温压力传感器及其加工方法
本发明公开了一种高温压力传感器及其加工方法,该压力传感器包括硅由敏感膜片,底座,TO管壳。其中敏感膜片采用SOI单晶硅圆片作为基片,在器件层加工电阻及引线互连组成惠斯登电桥,在衬底层进行各向异性腐蚀形成所述对压力敏感的膜...
刘冠东
崔万鹏
高成臣
郝一龙
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