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崔万鹏

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇压力传感器
  • 4篇力传感器
  • 4篇感器
  • 4篇高温压力传感...
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 2篇电信
  • 2篇电信号
  • 2篇电信号测量
  • 2篇电阻
  • 2篇信号
  • 2篇信号测量
  • 2篇气压
  • 2篇热电阻
  • 2篇耐高温
  • 2篇各向异性腐蚀
  • 2篇硅玻璃
  • 2篇硅化钛
  • 2篇硅
  • 2篇测试装置

机构

  • 7篇北京大学

作者

  • 7篇刘冠东
  • 7篇高成臣
  • 7篇郝一龙
  • 7篇崔万鹏
  • 3篇李哲
  • 3篇胡杭
  • 1篇李灵毓

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 5篇2015
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
高温压力传感器测试装置
本发明本发明公开了一种超高温度时压力传感器的测试装置，包括一端封闭另一端开放的不锈钢管1，热电阻2，三通接头5，航空插头6组成的密封测试部分，用于提供高温压力传感器测试所需的密封环境；电炉7组成的加热部分，用于提供高温压...
刘冠东胡杭崔万鹏李哲高成臣郝一龙
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一种耐高温欧姆接触电极结构及其加工方法
本发明公开了一种耐高温欧姆接触电极结构及其加工方法，该电极结构自上而下包括：金导电层6，铂粘附层5，氮化钛阻挡层4，钛粘附层3，二硅化钛2/硅欧姆接触。使用硅化物自对准技术制备二硅化钛/硅欧姆接触，该接触有良好的热稳定性...
刘冠东张帆顺崔万鹏高成臣郝一龙
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一种高温压力传感器及其加工方法
本发明本发明公开了一种高温压力传感器及其加工方法，该压力传感器包括硅由敏感膜片，底座，TO管壳。其中敏感膜片采用SOI单晶硅圆片作为基片，在器件层加工电阻及引线互连组成惠斯登电桥，在衬底层进行各向异性腐蚀形成所述对压力敏...
刘冠东崔万鹏高成臣郝一龙
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一种硅玻璃镶嵌结构微机械差分电容式压力计
本发明公开了一种微机械差分电容式压力计。该压力计的两个电容由4个电容极板组成：附于硅杯结构敏感膜片上的第一、第四极板与附于中间支撑层结构两表面的第二、第三极板。本压力计基于压力计结构中基本的硅杯结构，当压力作用于敏感膜片...
崔万鹏刘冠东胡杭张帆顺李哲高成臣郝一龙
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高温压力传感器测试装置
本发明公开了一种超高温度时压力传感器的测试装置，包括一端封闭另一端开放的不锈钢管1，热电阻2，三通接头5，航空插头6组成的密封测试部分，用于提供高温压力传感器测试所需的密封环境；电炉7组成的加热部分，用于提供高温压力传感...
刘冠东胡杭崔万鹏李哲高成臣郝一龙
一种复杂硅玻璃混合结构圆片的加工方法
本发明公开了一种复杂硅玻璃混合结构晶圆的加工方法。复杂硅玻璃混合结构圆片包括不同形状的硅、玻璃、以及由硅与玻璃混合组成复杂的多维结构。该加工方法包括：在硅圆片上制备硅槽结构；将玻璃圆片之键合；或将玻璃粉填充至硅槽结构当中...
崔万鹏刘冠东李灵毓桂一鸣高成臣郝一龙
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一种高温压力传感器及其加工方法
本发明公开了一种高温压力传感器及其加工方法，该压力传感器包括硅由敏感膜片，底座，TO管壳。其中敏感膜片采用SOI单晶硅圆片作为基片，在器件层加工电阻及引线互连组成惠斯登电桥，在衬底层进行各向异性腐蚀形成所述对压力敏感的膜...
刘冠东崔万鹏高成臣郝一龙
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