刘冠东
- 作品数：8 被引量：0H指数：0
- 供职机构：北京大学更多>>
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 高温压力传感器测试装置
- 本发明本发明公开了一种超高温度时压力传感器的测试装置，包括一端封闭另一端开放的不锈钢管1，热电阻2，三通接头5，航空插头6组成的密封测试部分，用于提供高温压力传感器测试所需的密封环境；电炉7组成的加热部分，用于提供高温压...
- 刘冠东胡杭崔万鹏李哲高成臣郝一龙
- 文献传递
- 一种硅玻璃镶嵌结构微机械差分电容式压力计
- 本发明公开了一种微机械差分电容式压力计。该压力计的两个电容由4个电容极板组成：附于硅杯结构敏感膜片上的第一、第四极板与附于中间支撑层结构两表面的第二、第三极板。本压力计基于压力计结构中基本的硅杯结构，当压力作用于敏感膜片...
- 崔万鹏刘冠东胡杭张帆顺李哲高成臣郝一龙
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- 高温压力传感器测试装置
- 本发明公开了一种超高温度时压力传感器的测试装置，包括一端封闭另一端开放的不锈钢管1，热电阻2，三通接头5，航空插头6组成的密封测试部分，用于提供高温压力传感器测试所需的密封环境；电炉7组成的加热部分，用于提供高温压力传感...
- 刘冠东胡杭崔万鹏李哲高成臣郝一龙
- 一种高温压力传感器及其加工方法
- 本发明本发明公开了一种高温压力传感器及其加工方法，该压力传感器包括硅由敏感膜片，底座，TO管壳。其中敏感膜片采用SOI单晶硅圆片作为基片，在器件层加工电阻及引线互连组成惠斯登电桥，在衬底层进行各向异性腐蚀形成所述对压力敏...
- 刘冠东崔万鹏高成臣郝一龙
- 文献传递
- 一种石墨烯热电器件的圆片级制备工艺
- 2014年
- 石墨烯器件的规模制备是石墨烯材料从实验室研究走向市场应用的关键技术。基于大面积化学气相淀积(CVD)石墨烯,结合微加工技术,对石墨烯圆片级制备工艺进行了初步研究。优化了光学光刻和反应离子刻蚀(RIE)等工艺参数,设计了一套适用于4英寸(1英寸=2.54 cm)硅衬底圆片级制备石墨烯器件的完整工艺流程,可以减少光刻次数,降低工艺成本。测试结果表明,单个圆片的器件成品率可达90.6%,圆片内器件具有较好的均一性,制备的石墨烯热电单元阵列在冷热端温差为5.2℃时,输出电压可达3.52 mV,高于已报道的同类石墨烯器件。
- 赵琦张扬熙刘冠东高成臣郝一龙
- 关键词：石墨烯圆片级微加工技术热电器件
- 一种复杂硅玻璃混合结构圆片的加工方法
- 本发明公开了一种复杂硅玻璃混合结构晶圆的加工方法。复杂硅玻璃混合结构圆片包括不同形状的硅、玻璃、以及由硅与玻璃混合组成复杂的多维结构。该加工方法包括：在硅圆片上制备硅槽结构；将玻璃圆片之键合；或将玻璃粉填充至硅槽结构当中...
- 崔万鹏刘冠东李灵毓桂一鸣高成臣郝一龙
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- 一种耐高温欧姆接触电极结构及其加工方法
- 本发明公开了一种耐高温欧姆接触电极结构及其加工方法，该电极结构自上而下包括：金导电层6，铂粘附层5，氮化钛阻挡层4，钛粘附层3，二硅化钛2/硅欧姆接触。使用硅化物自对准技术制备二硅化钛/硅欧姆接触，该接触有良好的热稳定性...
- 刘冠东张帆顺崔万鹏高成臣郝一龙
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- 一种高温压力传感器及其加工方法
- 本发明公开了一种高温压力传感器及其加工方法，该压力传感器包括硅由敏感膜片，底座，TO管壳。其中敏感膜片采用SOI单晶硅圆片作为基片，在器件层加工电阻及引线互连组成惠斯登电桥，在衬底层进行各向异性腐蚀形成所述对压力敏感的膜...
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