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杨园园
作品数:
3
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供职机构:
中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所
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合作作者
吴国栋
中国科学院宁波材料技术与工程研...
竺立强
中国科学院宁波材料技术与工程研...
郭立强
中国科学院宁波材料技术与工程研...
万青
中国科学院宁波材料技术与工程研...
张洪亮
中国科学院宁波材料技术与工程研...
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中国科学院宁...
作者
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万青
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杨园园
2篇
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年份
1篇
2016
2篇
2014
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3
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一种柔性超薄玻璃的制备方法
本发明公开了一种柔性超薄玻璃的制备方法,采用化学气相沉积技术,在低熔点的锡溶液上首先制备一层氮化硅薄膜,再制备一层二氧化硅薄膜,最后抽取Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>/SiO<Sub>2</Sub...
万青
郭立强
杨园园
竺立强
张洪亮
吴国栋
文献传递
一种非晶态碳化硅薄膜的制备方法及其薄膜晶体管
本发明公开了一种非晶态碳化硅薄膜的制备方法,以硅源、碳源作为反应源,氩气作为保护气体,在掺杂剂的作用下,通过化学气相沉积技术得到。本发明还公开了一种非晶态碳化硅薄膜晶体管,该非晶态碳化硅薄膜晶体管包括衬底、阻隔层、源电极...
郭立强
万青
杨园园
竺立强
吴国栋
文献传递
一种柔性超薄玻璃的制备方法
本发明公开了一种柔性超薄玻璃的制备方法,采用化学气相沉积技术,在低熔点的锡溶液上首先制备一层氮化硅薄膜,再制备一层二氧化硅薄膜,最后抽取Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>/SiO<Sub>2</Sub...
万青
郭立强
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