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郭射宇
作品数:
5
被引量:9
H指数:2
供职机构:
苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
天文地球
一般工业技术
金属学及工艺
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合作作者
李中元
中国科学技术大学地球和空间科学...
宁兆元
苏州大学物理科学与技术学院能源...
程珊华
苏州大学物理科学与技术学院能源...
史义才
中国科学院等离子体物理研究所
任兆杏
中国科学院等离子体物理研究所
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主题
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等离子体
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慧星
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彗尾
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ECR
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中等离子体
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数值模拟
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太阳风
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稳定性
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刻蚀
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空间等离子体
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PECVD
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ECR等离子...
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值模拟
机构
3篇
中国科学技术...
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中国科学院等...
作者
5篇
郭射宇
2篇
宁兆元
2篇
李中元
1篇
程珊华
1篇
任兆杏
1篇
史义才
传媒
1篇
科学通报
1篇
空间科学学报
1篇
真空科学与技...
1篇
微细加工技术
年份
1篇
1996
1篇
1995
2篇
1991
1篇
1990
共
5
条 记 录,以下是 1-5
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排序方式:
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被引量排序
时效排序
两种可能的彗尾加速机制
被引量:2
1991年
早年,在Ⅰ型彗尾中就观测到有大的加速现象,其数值可达300 cm/s^2.近年对G-Z彗星进行直接测量,得其粒子的能量高达2×10~5eV,远高于彗星离子的初始能量(≤2×10~4eV),
李中元
童彝
郭射宇
关键词:
慧星
空间等离子体
Ⅰ型慧星中二流不稳定的研究
郭射宇
微波电子回旋共振等离子体金属内壁镀膜装置及其实验研究
1995年
史义才
郭射宇
任兆杏
宁兆元
关键词:
等离子体
ECR
PECVD
ECR等离子体沉积系统中等离子体特性的模拟
被引量:3
1996年
本文建立了一个物理模型,编写了数值程序,模拟了微波电子回旋共振(ECR)等离子体流的特性。假定等离子体中的电子服从玻尔兹曼关系,离子在从共振区流向衬底的过程中与中性气体发生电荷交换和弹性碰撞。根据等离子体区应满足的电荷准中性条件,采用蒙特卡罗方法可计算出自恰的等离子体电位及离子密度分布。从而分析了磁场形态和气压对等离子体密度空间分布,入射到衬底上的离子通量和平均能量的影响,结果表明:磁场形态和气压都可用来独立控制等离子体流的性能,这对于使用该种等离子体源进行薄膜沉积和刻蚀有一定的理论指导意义。
宁兆元
郭射宇
程珊华
关键词:
ECR
等离子体
数值模拟
刻蚀
太阳风与彗尾等离子体相互作用引起不稳定的一种讨论
被引量:4
1991年
本文讨论了在无力场情形下,太阳风与彗尾等离子体相互作用的二流不稳定问题。应用International Cometary Explorer(ICE)飞行器对彗星Giacobini-Zinner的探测数据,采用合理的等离子分布形式,得出的结论是在彗星内部存在着这种二流不稳定现象。
郭射宇
李中元
关键词:
慧星
太阳风
等离子体
稳定性
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