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刘敬伟: 作品数：11 被引量：12H指数：2; 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>; 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>; 相关领域：电子电信更多>>

合作作者

SOI Waveguides Fabricated by Wet-Etching Method: 2003年; SOI waveguides fabricated by wet-etching method are demonstrated.The single mode waveguide and 1×2 3dB MMI splitter are analyzed and designed by three dimensional beam propagation method to correct the error of effective index method and guided mode method.The devices are fabricated.Excellent performances,such as low propagation loss of -1.37dB/cm,low excess loss of -2.2dB,and good uniformity of 0.3dB,are achieved.; 王小龙严清峰刘敬伟陈少武余金中; 关键词：SOI

光开关模块被引量：1: 2003年; 光开关作为光通信中的重要器件，其集成化和模块化是必然趋势。光开关的模块化将应用许多重要的技术，如开关矩阵技术，光电集成技术、光纤与波导的耦合技术和芯片安装技术等。通过交叉型、树形、简化树型和扩展树型结构，可将光开关单元集成为大规模的完全无阻塞型开关矩阵。混合光电集成是将光器件、波导、微电子器件和电路等，分别选择各自最合适的材料和最优化的工艺进行制作，所以成品率高而成本低，是目前主要的光电集成形式。采用v型槽技术可以实现光纤和波导的高精度自对准耦合。从微电子技术发展而来的光SMT和光MCM技术，是光开关等光电器件的新型封装技术。; 刘敬伟余金中; 关键词：光开关光通信光电集成封装矩阵结构

采用楔形连接波导和自对准反射镜的8×8阻塞型热光开关: 2007年; 通过改进热光开关单元和全内反射镜,设计并制作了基于SOI材料的8×8阻塞型热光开关矩阵.开关设计中,在单模波导和多模干涉耦合器之间引入楔形连接波导并进行优化,增大单模波导与多模波导之间的耦合效率,减小开关单元的损耗.此外,采用自对准方法提高了全内反射镜的光刻容差.开关矩阵各端口的平均插入损耗约为21dB,单个反射镜引起的附加损耗约为1.4dB,串扰少于-21dB.实验结果说明新设计改善了开关器件的整体特性,与理论分析一致.; 李智勇李运涛刘敬伟陈少武余金中; 关键词：热光开关 SOI 自对准

一种光路折叠式波导光开关阵列及其方法: 本发明涉及信息光电子技术领域，一种光路折叠式波导光开关阵列及其方法。包括：各级2×2光开关单元；各级2×2光开关单元之间的连接光波导；对连接光波导进行90°转折的若干组微型全内反射镜；光开关驱动电极。在工艺上，这种光路折...; 陈少武刘敬伟余金中; 文献传递

SOI热光开关电学模型设计和应用: 2005年; 从控制和驱动电路设计者的角度,设计了Mach-Zehnder干涉仪型SOI热光开关的电学模型,对模型的电学特性进行的模拟及实验电路验证表明所设计的模型可以用来在电学实验中取代SOI热光开关,最后讨论了电学模型的应用。; 李运涛刘敬伟陈少武余金中; 关键词：热光开关 SOI MACH-ZEHNDER干涉仪电学特性实验电路设计者

SOI光波导和集成波导光开关矩阵: 本文报道了基于SOI(Silicon-on-Insulator)材料的光波导和集成波导光开关矩阵的最新研究进展.给出了截面为梯形的脊波导的单模条件,设计制备了基于MMI(Multimode interference)耦合...; 陈少武余金中刘敬伟王章涛夏金松樊中朝; 关键词：光开关开关速度 SOI 光开关矩阵; 文献传递

BPMF-SRM混合法分析SOI脊形波导与光纤耦合被引量：2: 2005年; 摘用束传播自由空间辐射模 (BPM F-SRM)混合法计算了SOI脊形波导和光纤耦合时的透射率,提出计算反射率的积分公式将该混合法和一般FSRM、菲涅尔公式重叠积分法的计算结果相比较,提出只有在弱导条件下,传统的菲涅尔公式法和重叠积分法才可以同时使用.; 刘敬伟陈少武余金中; 关键词：透射

SOI光波导器件和集成光开关矩阵的研究进展被引量：5: 2004年; SOI(Silicon-on-insulator, 绝缘衬底上的硅)是一种折射率差大、波导传输损耗小的新型材料, SOI基光电子器件具有与微电子工艺兼容、能够实现OEIC单片集成等优点, 近年来受到越来越多的重视. 文中重点研究了SOI波导器件的新进展, 采用高效数值模拟方法研究得出了精确的SOI矩形和梯形大截面脊形波导的单模条件, 设计和制作了单模脊形光波导、多模干涉耦合器(MMI)、可变光衰减器(VOA)、马赫-曾德尔干涉型22热光波导光开关, 在此基础上首次研制出44和88 SOI平面集成波导光开关矩阵.; 余金中陈少武夏金松王章涛樊中朝李艳萍刘敬伟杨笛陈媛媛; 关键词：SOI 光开关矩阵光波导器件多模干涉耦合器脊形波导单片集成

一种分析三维楔脊形光波导与光纤耦合的方法被引量：4: 2005年; 和直波导的不同在于 ,三维楔脊形波导中的光场都是不稳定的 .分别对波导_光纤耦合、光纤_波导耦合两种情况 ,将三维楔脊形波导等效为多段短的直波导 ,利用束传播法同时对三维楔脊形波导内不稳定的入射、反射场 ,及它们在传播方向上的偏导进行处理 ,再用自由空间辐射模法计算透射率和反射率 .以SOI楔脊形波导和光纤的耦合为例。; 刘敬伟陈少武余金中; 关键词：脊形波导光纤耦合脊形光波导辐射模 SOI 光场

SOI光波导和集成波导光开关矩阵: 2005年; 报道了基于SOI(silicon-on-insulator)材料的光波导和集成波导光开关矩阵的最新研究进展.给出了截面为梯形的脊波导的单模条件,设计制备了MMI(multimode interference)集成耦合器和基于Mach-Zehnder光波导干涉仪的热光型2×2光开关,开关转换速度达到了5～8μs,驱动功耗仅为140mW,是当前国际上同类型光开关中转换速度最快的.在此基础上制备成功了4×4波导光开关矩阵,并实现了光信号在不同信道间的转换.; 陈少武余金中刘敬伟王章涛夏金松樊中朝; 关键词：SOI材料单模条件