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陆全勇
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中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
张伟
中国科学院半导体研究所
刘峰奇
中国科学院半导体研究所
王利军
中国科学院半导体研究所
王占国
中国科学院半导体研究所
刘俊岐
中国科学院半导体研究所
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刘峰奇
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张伟
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陆全勇
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锥形光子晶体量子级联激光器及其制作方法
本发明公开了一种近衍射极限光束输出的锥形光子晶体量子级联激光器及其制作方法。该激光器包括:衬底,及其在衬底上依次生长的下波导层、有源区、上波导层、上覆盖层、上接触层、欧姆接触层、电绝缘层、正面电极和衬底背面电极。该激光器...
张伟
王利军
刘俊岐
李路
张全德
陆全勇
高瑜
刘峰奇
王占国
带有准光子晶体波导阵列的量子级联激光器及其制作方法
一种带有准光子晶体波导阵列的量子级联激光器,包括:一衬底;一下波导层生长在衬底之上,且中间有一凸台,凸台的两侧形成脊型双沟台面结构;一量子级联有源区结构生长在下波导层的凸台之上;一上波导层生长在量子级联有源区结构之上;一...
尹雯
陆全勇
张伟
刘峰奇
张全德
刘万峰
江宇超
李路
刘俊岐
王利军
王占国
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斜腔面二维光子晶体分布反馈量子级联激光器及制备方法
一种斜腔面二维光子晶体分布反馈量子级联激光器及制备方法,其中斜腔面二维光子晶体分布反馈量子级联激光器,包括:一InP衬底;一InP波导限制层制作在InP衬底上;一InGaAs下波导层制作在InP波导限制层上;一应变补偿有...
陆全勇
张伟
王利军
刘俊岐
李路
刘峰奇
王占国
用于制备二维光子晶体的双光束全息干涉多次曝光方法
本发明公开了一种用于制备二维光子晶体的双光束全息干涉多次曝光方法,该方法包括:半导体衬底的清洗;旋涂光刻胶;光刻胶的前烘焙;在双光束全息系统中多次交叉曝光;显影;光刻胶的后烘焙;半导体衬底的各向同性腐蚀;除去光刻胶。本发...
陆全勇
张伟
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刘峰奇
文献传递
边发射二维光子晶体分布反馈量子级联激光器及制备方法
一种边发射二维光子晶体分布反馈量子级联激光器,包括:一衬底;一下波导层,该下波导层生长在衬底的中间部位,在下波导层上依次生长有有源层、上波导层和盖层;一高掺杂层,该高掺杂层生长在盖层的上面,该高掺杂层为二维正方圆孔点阵结...
陆全勇
张伟
王利军
高瑜
尹雯
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王占国
文献传递
量子级联激光器表面等离子波导的优化设计
本文介绍了中红外波段的量子级联激光器表面等离子体波导的波导损耗、限制因了以及远场分布的优化计算。通过适当改变有源层和金属电极层之间的InGaAs接触层的厚度和掺杂浓度,使其折射率的实部和虚部同时达到最优值,可以有效地减小...
陆全勇
张伟
王立军
高瑜
尹文
张全德
刘万峰
刘峰奇
王占国
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垂直发射量子级联激光器结构
本发明提供一种垂直发射量子级联激光器结构,包括:一衬底,在该衬底上依次生长有波导层、有源层和接触层;金属光栅层,该金属光栅层位于接触层的上面,并且该金属光栅层具有二级布拉格周期。
郭万红
刘俊岐
陆全勇
张伟
江宇超
李路
王利军
刘峰奇
王占国
短波长光栅面发射量子级联激光器结构及制备方法
一种短波长光栅面发射量子级联激光器结构,包括:一衬底;一下波导层生长在该衬底上;一有源层生长在该下波导层上;一上波导层生长在该有源层上;一盖层生长在该上波导层上,该盖层的上半部位置形成二级分布反馈光栅;一光栅层位于盖层的...
江宇超
刘俊岐
陆全勇
张伟
郭万红
李路
刘峰奇
王利军
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锥形光子晶体量子级联激光器及其制作方法
本发明公开了一种近衍射极限光束输出的锥形光子晶体量子级联激光器及其制作方法。该激光器包括:衬底,及其在衬底上依次生长的下波导层、有源区、上波导层、上覆盖层、上接触层、欧姆接触层、电绝缘层、正面电极和衬底背面电极。该激光器...
张伟
王利军
刘俊岐
李路
张全德
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边发射二维光子晶体分布反馈量子级联激光器及制备方法
一种边发射二维光子晶体分布反馈量子级联激光器,包括:一衬底;一下波导层,该下波导层生长在衬底的中间部位,在下波导层上依次生长有有源层、上波导层和盖层;一高掺杂层,该高掺杂层生长在盖层的上面,该高掺杂层为二维正方圆孔点阵结...
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