王俊忠
- 作品数：11 被引量：11H指数：2
- 供职机构：北京工业大学固体微结构与性能研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防科技重点实验室基金北京市教委资助项目更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺医药卫生更多>>
- 多晶NiTi形状记忆合金中原位应力诱发马氏体相变的研究
- ＜正＞称为神奇金属的 NiTi 形状记忆合金由于具有超弹性和形状记忆效应两个优异的性质而广泛地应用于航空航天、工业、生物医学及日常生活当中。这两个优异性质的物理本质是 NiTi 形状记忆合金中发生的无扩散型可逆马氏体相变...
- 毛圣成韩晓东罗俊锋王俊忠张泽WU M H
- 关键词：形状记忆合金马氏体相变微观结构扫描电子显微镜
- 文献传递
- A l互连线微结构的EBSD分析与电徙动可靠性
- 2005年
- 采用电子背散射衍射技术(EBSD),测量了微电子器件中A l互连线的晶粒结构、晶体学取向和晶界特征。A l互连线制备及退火工艺影响着互连线的显微结构和电徙动中值寿命(MTF)。结果表明,退火后晶粒明显长大,晶粒呈近竹节结构,形成很强的{111}织构,并使小角度晶界增加,从而提高了A l互连线的电徙动可靠性。
- 王俊忠刘志民钟涛兴张隐奇李志国吉元
- 关键词：EBSD
- GaN外延结构中微区应变场的测量和评价
- 2008年
- 采用电子背散射衍射(EBSD)技术,测量GaN/蓝宝石结构中的弹性应变场.将EBSD菊池衍射花样的图像质量IQ值及小角度错配作为应力敏感参数,表征GaN-Buffer层-蓝宝石结构中的晶格畸变和转动,显示微区弹性应变场.在GaN/蓝宝石系统中,弹性应变的影响范围大约200×700nm.采用快速傅立叶变换(FFT)提取菊池花样的衍射强度,识别GaN外延结构中的应变/无应变区域.
- 王俊忠吉元田彦宝牛南辉徐晨韩军郭霞沈光地
- 关键词：GAN外延层
- Al互连线和Cu互连线的EBSD分析
- 采用电子背散射衍射(EBSD)技术,对微电子器件VLSI的Al互连线和ULSI的Cu互连线的显微结构进行了分析和对比。Al和Cu互连线的晶粒结构和晶粒取向的形成和发展, 与互连线的制备工艺密切相关,并直接影响着金属化系统...
- 刘志民罗俊锋王俊忠张隐奇吉元
- NiTi心血管支架的显微组织的TEM和EBSD研究
- ＜正＞NiTi 超弹性形状记忆合金由于具有超弹性,形状记忆效应和良好的生物相容性而被广泛的应用于生物医学领域。至今已有心血管支架、导丝、接骨板等生物材料,其中 NiTi 心血管支架得到了最广泛的应用。本研究用透射电子显微...
- 王飞龙韩晓东毛圣成王俊忠张泽WU M H
- 关键词：显微组织形状记忆合金生物材料电子显微镜
- 文献传递
- Al互连线和Cu互连线的显微结构被引量：6
- 2007年
- 利用电子背散射衍射(EBSD)技术,测量了由反应离子刻蚀工艺(RIE)制备的Al互连线和大马士革工艺(Damascene)制备的Cu互连线的显微结构,包括晶粒尺寸、晶体学取向和晶界特征.分析了Cu互连线线宽,及Al和Cu互连线退火工艺对互连线显微结构及电徙动失效的影响.
- 王俊忠吉元王晓冬刘志民罗俊锋李志国
- 关键词：电子背散射衍射互连线显微结构
- GaAs-AlGaAs外延结构中微区应力的电子背散射衍射分析被引量：2
- 2008年
- 采用电子背散射衍射（EBSD）技术，以30～40nm的空间分辨率，显示GaAs—AlGaAs外延结构中的应力分布。将菊池花样质量JQ和Hough峰，以及晶格错配和局部转动等测量参数作为应力敏感参数，分析GaAs—AlGaAs周期外延层中的应变状态。通过对菊池花样进行快速傅立叶变换和强度计算识别微区应变区域。
- 田彦宝吉元王俊忠张隐奇关宝璐郭霞沈光地
- 多晶NiTi形状记忆合金中原位应力诱发马氏体相变的研究被引量：1
- 2006年
- 毛圣成韩晓东罗俊锋王俊忠张泽WU M H
- 关键词：NITI形状记忆合金应力诱发马氏体相变NITI记忆合金NITI合金背散射电子衍射
- NiTi心血管支架的显微组织的TEM和EBSD研究
- 2006年
- 王飞龙韩晓东毛圣成王俊忠张泽WU M H
- 关键词：NITI心血管EBSD显微组织TEM形状记忆合金
- 半导体材料和器件的微结构与微区应力的EBSD研究
- 随着微电子器件和光电子器件向着高速化和高集成度方向的迅速发展，半导体外延结构及金属互连线的微观结构特征，以及多层膜之间在制备和使用过程中引入的应力，对电子器件的可靠性、使用寿命和出光率等起着关键的作用。
本论文...
- 王俊忠
- 关键词：半导体材料离子刻蚀傅立叶变换金属互连线
- 文献传递
