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ULSI中铜互连线通孔电迁徙失效的数值模拟: 利用三维有限元模型对Cu互连线通孔进行了电流密度、温度和温度梯度分布进行了模拟,比较了具有不同阻挡层材料通孔的电流密度、温度和温度梯度分布.对于同一阻挡层材料,进行了不同通孔倾斜角的模拟.模拟结果指出通过优化通孔倾斜角和...; 李志国卢振钧吉元孙英华程尧海张万荣李鸣吕晓亮; 关键词：铜互连线通孔有限元数值模拟; 文献传递

ZnO纳米线原位生长的ESEM方法被引量：4: 2006年; 以环境扫描电镜(ESEM)为基础,配置氧气微注入系统及加热台附件,作为ZnO纳米线生长的微型实验室。实验结果表明,纯Zn片在环境压力为1×10-2Pa和300℃的环境条件下,可原位反应生成直径几十纳米的、较均匀的ZnO纳米线。; 田彦宝吉元付景永张隐奇权雪玲张跃飞郑善亮韩晓东; 关键词：ZNO纳米线

HRB500热轧带肋钢筋断后伸长率偏低原因分析被引量：1: 2016年; 针对某厂少量HRB500热轧带肋钢筋断后伸长率偏低,而且断口上存在肉眼可见白斑的问题,采用扫描电子显微镜(SEM)和高分辨扫描电子显微镜(HRSEM)、X射线能谱仪(EDS)对HRB500热轧带肋钢筋的显微组织、断口形貌和夹杂物进行了分析。结果表明:该钢筋中存在大量非金属夹杂物,其中硬且大尺寸的非金属夹杂物是造成拉伸断口上出现白斑的根源,也是引起钢筋断后伸长率偏低的主要原因;另钢筋显微组织中存在较多的贝氏体也降低了钢筋的塑性和韧性。; 肖卫强刘丹敏王少博张隐奇吉元徐学东; 关键词：断后伸长率非金属夹杂物贝氏体

半导体外延系统微区应力的EBSD研究(邀请报告): 半导体结构和器件在制造和使用过程中引入的热应力、晶格失配应力等可诱发晶体缺陷形核、改变能隙,降低器件的发光效率和灵敏度。由于激光器、发光二级管等光电子器件的外延层厚度仅为几纳米～几十纳米,采用X射线衍射(XRD)和同步辐...; 吉元田彦宝王俊忠张隐奇牛南辉徐晨韩军郭霞沈光地; 关键词：EBSD技术晶体取向; 文献传递

铝合金熔焊区结构稳定性的测试技术: 2022年; 在航空航天领域中,轻合金激光熔焊区的结构稳定性具有重要意义。因此,本文从晶界面结构视角具体审视这一问题。本研究以一种5系铝合金的激光熔焊区为研究对象,分别利用扫描电镜、电子背散射衍射(EBSD)和统计性的晶界面结构分析方法,首先实现了热影响区、等轴区和熔合区在空间上的准确划分;其次对各子区分别计算了穿过晶界面的取向差角分布情况;然后通过五参数法,对各子区内的晶界面进行了惯习面取向织构分析。基于上述工作,最终在晶界面取向织构和材料结构稳定性之间构建了有益关联。做为体视学技术和轻合金结构之间的学科交叉,本研究发展了空间意义上晶界面的划分技术和取向差角校正计算技术,实现了晶界面结构对材料组织结构性能的有效反馈,并可形成对同类型研究的参考和借鉴。; 原效坤崔丽吉元; 关键词：扫描电子显微镜电子背散射衍射铝合金

环境敏感水凝胶的环境扫描电镜观察被引量：7: 2005年; 采用环境扫描电镜(ESEM),观察环境敏感水凝胶在自然状态下微观结构。对环境参数进行了优化,观察到温敏水凝胶的真实形貌和多孔结构。改变ESEM成像条件组合包括压力、温度和相对湿度等环境条件,在2℃～50℃和300Pa～600Pa的环境条件下,原位和动态观察分析温敏水凝胶的结构变化和退溶胀响应速度等环境敏感特性。; 权雪玲吉元张虹张隐奇何江川林强; 关键词：多孔结构

采用同步辐射源X射线衍射技术原位观测VLSI铝互连线的应力被引量：3: 2005年; 为研究VLSI金属互连线的应力导致IC器件失效的问题,采用同步辐射源X射线衍射技术,原位测试了VLSI中Al互连线在电迁徙及加热条件下的应力变化.沉积态的Al互连线在室温下为拉应力.退火过程使拉应力逐渐减小,在300～350℃过程中由拉应力转为压应力.在电流密度为(3×105～4×106)A/cm2,275min的电徙动实验过程中,Al互连线阳极端由拉应力转变为压应力,并随后随着电流密度的增加而增加.此外,采用扫描电镜(SEM)观察了Al互连线的电迁徙失效特征及应力释放过程.; 吉元刘志民付厚奎李志国钟涛兴张虹吴月华付景永; 关键词：热应力电迁徙

扫描电镜中的电子反射镜像现象及应用被引量：3: 2007年; 观察非导电样品在扫描电镜(SEM)中产生的电子镜现象。研究了电子镜出现的条件,监测了电子镜像出现过程中表面电势Es和吸收电流Ia的变化。结果表明,当Es达到7 kV-9 kV时出现了电子镜像。当电子总发射产额σ■1,Es■ 4kV,及Ia■0时,形成了稳定而无畸变的电子镜像。利用电子镜现象可确定电子散射率及入射电子能量的临界值E2,以及评价非导电样品导电性能。; 张隐奇吉元田彦宝付景永徐学东戴琳王丽; 关键词：扫描电镜非导电材料

三阴性乳腺癌细胞膜表面EGFR和c-Met的单分子水平共定位研究: 2020年; 目的:在纳米水平直观验证表皮生长因子受体(EGFR)和肝细胞生长因子受体(c-Met)是否可以结合形成异源二聚体。方法:采用链霉亲和素-生物素技术,利用2种不同大小的纳米金颗粒(10和30 nm)分别结合核酸适配体对EGFR和c-Met进行共标记和共定位;采用环境扫描电镜对2种膜蛋白进行纳米尺度下的超高分辨成像观察,并开展统计分析。结果:三阴性乳腺癌细胞膜表面EGFR单体、二聚体、多聚体的占比分别为48.60%、29.83%、21.57%,c-Met单体、二聚体、多聚体的占比分别为38.24%、27.66%、34.10%;EGFR、c-Met可以聚合形成异源二聚体和多聚体,分别占二聚体和多聚体总数的13.71%和24.42%。结论:EGFR和c-Met可以通过形成不同类型聚体的形式在膜上发挥作用,提示联合靶向EGFR和c-Met将成为针对三阴性乳腺癌的一种新的潜在治疗方法。; 柴彬彬王丽李劲涛张晓菲夏阳吉元盛望韩晓东; 关键词：三阴性乳腺癌共定位

表皮生长因子受体在三阴性乳腺癌细胞膜表面的电镜单分子成像研究: 2018年; 目的:利用电镜对三阴性乳腺癌细胞表面的表皮生长因子受体(EGFR)进行超高分辨单分子成像研究。方法:在ITO导电玻璃上培养三阴性乳腺癌细胞系MB-231,经甲醛固定后先与生物素修饰的EGFR特异的核酸适配体孵育,再与链霉亲和素修饰的金纳米颗粒孵育,用生理盐水清洗后,利用扫描电镜对细胞膜表面EGFR分子进行纳米尺度下的超高分辨成像研究。结果:在三阴性乳腺癌细胞膜表面,EGFR可以单体、二聚体和多聚体的形式存在,经统计在常规培养条件下单体比例为36.98%,二聚体比例为12.22%,多聚体比例为50.80%。结论:EGFR在三阴性乳腺癌细胞膜表面主要以包括二聚体在内的多聚体形式存在,所占其总数的比例超过了62%。; 张晓菲王丽李劲涛夏阳吉元盛望韩晓东; 关键词：三阴性乳腺癌表皮生长因子受体成像

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吉元