2024年8月22日
星期四
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褚卫国
作品数:
196
被引量:48
H指数:4
供职机构:
国家纳米科学中心
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发文基金:
国家自然科学基金
广东省自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
王汉夫
国家纳米科学中心
闫兰琴
国家纳米科学中心
宋志伟
国家纳米科学中心
徐丽华
国家纳米科学中心
董凤良
国家纳米科学中心
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3篇
1999
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196
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一种C@MnO<Sub>2</Sub>纳米管超级电容器电极材料及其制备方法和用途
本发明提供了一种三维C@MnO<Sub>2</Sub>复合纳米管阵列超级电容器电极材料及其制备方法和用途,所述材料内部为纳米管状碳层,外部为MnO<Sub>2</Sub>材料;其制备方法包括:(1)对柔性碳纤维布进行预处...
李晓军
赵勇
江鹏
刘颖
赵修臣
褚卫国
文献传递
垂直型薄膜热电器件的热电臂阵列的制作方法和制作装置
本发明公开了一种垂直型薄膜热电器件的热电臂阵列的制作方法和制作装置,包括:步骤一:制作镂空掩模板(9、10、11、12),该镂空掩模板的镂空图案用于限定薄膜热电器件的热电臂阵列的至少部分图案,将衬底(8)固定在衬底托(7...
王汉夫
官爱强
褚卫国
文献传递
一种二维氮掺杂分级孔碳纳米片、制备方法及其在锂硫电池中的应用
本发明公开了一种二维氮掺杂分级孔碳纳米片、制备方法及其在锂硫电池中的应用。本发明的方法以锌盐与水溶性含氮有机配体为原料,在水溶液中一步合成二维片层MOF,通过碳化和活化等工艺得到二维氮掺杂分级孔碳纳米片。本发明的碳纳米片...
褚卫国
蒋毅
文献传递
一种结构型吸波材料及其制作方法
一种在硅衬底材料上制作的吸波材料及其制备方法,所述方法包括:在衬底上沉积一层金属膜;然后采用ICPECVD沉积含硅层;旋涂电子束光刻胶,曝光光刻胶,形成周期结构的光刻胶图形;再沉积一层金属膜并进行剥离,最终形成金属膜/含...
董凤良
徐丽华
宋志伟
褚卫国
文献传递
Cu<Sub>3</Sub>Mo<Sub>2</Sub>O<Sub>9</Sub>催化剂及其制备方法和应用
本发明提供了一种Cu<Sub>3</Sub>Mo<Sub>2</Sub>O<Sub>9</Sub>催化剂,该催化剂是粒径为纳米级的Cu<Sub>3</Sub>Mo<Sub>2</Sub>O<Sub>9</Sub>粉末。本...
褚卫国
王汉夫
文献传递
一种氟化碳膜及其制备方法和用途
本发明提供了一种氟化碳膜(CF<Sub>x</Sub>)及其制备方法和用途,所述氟化碳膜(CF<Sub>x</Sub>)的制备方法为:将惰性衬底置于ICP刻蚀系统中,以分子式中含有氟原子和碳原子的气体为工作气体对衬底表面...
闫兰琴
褚卫国
徐丽华
张先锋
文献传递
一种低温制备非晶硅膜材料的方法、得到的产品和用途
本发明涉及一种低温制备非晶硅膜材料的方法、得到的产品和用途。所述低温制备非晶硅膜材料的方法包括:采用高密度等离子体增强化学气相沉积设备制备非晶硅膜材料,气相沉积的温度≤100℃,所述高密度等离子体增强化学气相沉积设备的功...
宋志伟
褚卫国
徐丽华
闫兰琴
文献传递
一种表面增强拉曼衬底的制备方法
本发明涉及纳米材料技术领域,涉及一种金属/介电材料复合的纳米阵列结构及其制作方法,特别涉及一种表面增强拉曼衬底及其制备方法,所述拉曼衬底是由金属和介电材料组成的纳米阵列结构,所述纳米阵列结构的线宽为10‑25nm。本发明...
陈佩佩
褚卫国
田毅
闫兰琴
文献传递
一种低频BOSCH深硅刻蚀方法
本发明提供了一种低频BOSCH深硅刻蚀方法,该方法将BOSCH工艺和低频LF工艺相结合,采用低频脉冲功率源作为刻蚀工艺的下电极功率输入。该方法包括:紫外光刻胶图形的制备;各向异性刻蚀;各向同性沉积;刻蚀与沉积步骤交替进行...
徐丽华
褚卫国
文献传递
一种多孔硅酸铁锂、制备方法及其用途
本发明提供了一种多孔硅酸铁锂、制备方法和用途。所述制备方法为将硅源和锂源溶于去离子水,经搅拌和超声后与适量有机添加剂混合,再加入二价铁源与抗坏血酸的混合溶液,搅拌后以相对温和条件进行水热反应,经较快3个小时,便可得到多孔...
褚卫国
郭利民
王汉夫
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