2024年8月22日
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徐丽华
作品数:
40
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供职机构:
国家纳米科学中心
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相关领域:
文化科学
电子电信
化学工程
理学
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合作作者
褚卫国
国家纳米科学中心
闫兰琴
国家纳米科学中心
宋志伟
国家纳米科学中心
董凤良
国家纳米科学中心
陈佩佩
国家纳米科学中心
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作者
40篇
褚卫国
40篇
徐丽华
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闫兰琴
23篇
宋志伟
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董凤良
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陈佩佩
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田毅
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2017
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2016
8篇
2015
3篇
2014
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一种氟化碳膜及其制备方法和用途
本发明提供了一种氟化碳膜(CF<Sub>x</Sub>)及其制备方法和用途,所述氟化碳膜(CF<Sub>x</Sub>)的制备方法为:将惰性衬底置于ICP刻蚀系统中,以分子式中含有氟原子和碳原子的气体为工作气体对衬底表面...
闫兰琴
褚卫国
徐丽华
张先锋
文献传递
一种低温制备非晶硅膜材料的方法、得到的产品和用途
本发明涉及一种低温制备非晶硅膜材料的方法、得到的产品和用途。所述低温制备非晶硅膜材料的方法包括:采用高密度等离子体增强化学气相沉积设备制备非晶硅膜材料,气相沉积的温度≤100℃,所述高密度等离子体增强化学气相沉积设备的功...
宋志伟
褚卫国
徐丽华
闫兰琴
文献传递
一种低频BOSCH深硅刻蚀方法
本发明提供了一种低频BOSCH深硅刻蚀方法,该方法将BOSCH工艺和低频LF工艺相结合,采用低频脉冲功率源作为刻蚀工艺的下电极功率输入。该方法包括:紫外光刻胶图形的制备;各向异性刻蚀;各向同性沉积;刻蚀与沉积步骤交替进行...
徐丽华
褚卫国
文献传递
一种微偏振片阵列及其制作方法
本发明涉及一种微偏振片阵列的制作方法,所述方法为:在衬底上镀一层金属薄膜层;在金属薄膜层上镀一层SiN<Sub>x</Sub>薄膜作为硬掩模;在所述SiN<Sub>x</Sub>薄膜层上旋涂电子束正性光刻胶层并烘烤;通过...
董凤良
徐丽华
宋志伟
褚卫国
文献传递
一种透明超疏水薄膜、其制备方法及用途
本发明涉及一种透明超疏水薄膜、其制备方法及用途。本发明的透明超疏水薄膜兼具超薄、超透明和极好的超疏水性,厚度在60‑150nm,透光率在90‑97%,与水的接触角大于167°。本发明采用将射频磁控溅射与退火相结合的方法在...
闫兰琴
褚卫国
徐丽华
宋志伟
文献传递
一种硅表面制作密度可调的锥状陷光结构的方法及制得的黑硅
本发明涉及一种硅表面制作密度可调的锥状陷光结构的方法及制得的黑硅,所述方法包括:1)采用等离子体处理方法,对硅片进行表面处理,在硅片表面形成点状非连续SiO<Sub>x</Sub>掩膜,处理时间决定黑硅锥状结构的密度;2...
徐丽华
褚卫国
陈佩佩
闫兰琴
文献传递
一种基于金属纳米光栅的微偏振片阵列的制作方法
本发明涉及一种基于金属纳米光栅的微偏振片阵列的制作方法。所述方法包括以下步骤:(1)在基底上镀一层金属薄膜层并干燥处理;(2)在所述金属薄膜层上旋涂电子束正性光刻胶层并干燥处理;(3)在所述光刻胶层上通过电子束直写曝光并...
董凤良
徐丽华
苗霈
宋志伟
闫兰琴
褚卫国
文献传递
一种表面增强拉曼基底及其制备方法
本发明提供了一种表面增强拉曼基底的制备方法,所述方法包括以下步骤:在基片上制备银膜,得到镀银基片;将所述镀银基片进行等离子体干法刻蚀,得到多孔结构的表面增强拉曼基底。此方法可制备颗粒度大小可调的银多孔结构,无需任何掩膜,...
徐丽华
褚卫国
陈佩佩
宋志伟
田毅
一种结构型吸波材料及其制作方法
一种在硅衬底材料上制作的吸波材料及其制备方法,所述方法包括:在衬底上沉积一层金属膜;然后采用ICPECVD沉积含硅层;旋涂电子束光刻胶,曝光光刻胶,形成周期结构的光刻胶图形;再沉积一层金属膜并进行剥离,最终形成金属膜/含...
董凤良
徐丽华
宋志伟
褚卫国
文献传递
一种表面增强拉曼基底及其制备方法
本发明提供了一种表面增强拉曼基底的制备方法,所述方法包括以下步骤:在基片上制备银膜,得到镀银基片;将所述镀银基片进行等离子体干法刻蚀,得到多孔结构的表面增强拉曼基底。此方法可制备颗粒度大小可调的银多孔结构,无需任何掩膜,...
徐丽华
褚卫国
陈佩佩
宋志伟
田毅
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