吴芳
- 作品数:122 被引量:583H指数:13
- 供职机构:重庆大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金重庆市自然科学基金国家教育部“211”工程更多>>
- 相关领域:建筑科学电子电信文化科学理学更多>>
- 基于专家预估的固体火箭发动机拧紧控制系统的设计
- 螺纹连接作为机械产品最主要的联接方式,其可靠性关系到产品的整体性能,针对带有橡胶密封圈的软连接式螺纹件,保证其可靠性的关键在于密封性指标的合理控制,即密封圈压缩率的控制。然而,在目前螺纹装配领域中针对压缩率控制的研究较少...
- 吴芳
- 关键词:固体火箭发动机
- 湿法刻蚀条件对TFT中Cu电极坡度角和均一性的影响及工艺参数优化
- 2024年
- 目的 在高世代薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)产线的栅极刻蚀制程,明确大气压等离子体(Atmosphere Pressure Plasma,APP)清洗功率、清洗时间及刻蚀时间对刻蚀性能(关键尺寸偏差、均一性、坡度角)的影响规律,并获得最佳工艺条件,进而提升良率。方法 以APP清洗功率、清洗时间和刻蚀时间为影响因素,以关键尺寸偏差(CD Bias)、均一性、坡度角作为因变量,开展正交试验,明确因素影响重要性顺序;然后,对Cu电极坡度角的形成和刻蚀均一性变化进行分析;最后,采用回归分析获得刻蚀性能与刻蚀时间的函数关系式。结果 结果表明:刻蚀时间对刻蚀性能的影响最大,对APP清洁时间和功率的影响较小。刻蚀时间延长,关键尺寸偏差(CD Bias)增加、均一性变差、坡度角变大。为改善均一性和平缓坡度角,应缩短刻蚀时间。最佳工艺组合为:刻蚀时间85 s,APP电压9 kV,APP传输速度5 400 r/min。结论 刻蚀时间延长,未被光刻胶覆盖的Cu膜层被完全刻蚀,形成台阶,该台阶使刻蚀液形成回流路径。沿着回流路径,刻蚀液浓度、温度逐渐下降,刻蚀均一性由此恶化,坡度角因此增加。采用回归分析得到的刻蚀性能与刻蚀时间的函数关系式,为预测刻蚀效果和优选刻蚀时间提供了依据。
- 刘丹陈国良黄中浩方亮李晨雨陈启超吴芳张淑芳
- 关键词:薄膜晶体管湿法刻蚀CU电极
- 混凝土干燥收缩预测及变形计算被引量:9
- 2003年
- 干燥收缩是混凝土材料的重要性能之一,控制混凝土的收缩对确保结构的连续性和耐久性十分必要,对预应力混凝土结构,意义更为重要。介绍了国内外预测混凝土干燥收缩的经验公式,分析了各经验公式对预测混凝凝土干燥收缩的精度;介绍了一种计算混凝土结构干燥收缩和徐变变形的方法。
- 杨长辉王川吴芳黄洪胜刘本万
- 关键词:混凝土
- 大流动性轻集料混凝土研究
- 本文研究了粉煤灰、矿渣、硅灰掺合料在配制大流动性轻集料混凝土时所起的作用.试验结果表明:掺合料单掺效果不及复掺;用堆积密度为503kg/m<'3>、简压强度为3.08Mpa的页岩陶粒,复合掺入20℅的磨细粉煤灰合20℅的...
- 吴芳杨长辉陈剑雄
- 关键词:掺合料流动性轻集料混凝土
- 文献传递
- 外加剂掺量对装饰砂浆力学性能影响的试验研究被引量:16
- 2013年
- 分析了可再分散性乳胶粉、纤维素醚和消泡剂对装饰砂浆力学性能的影响,通过正交试验对砂浆的配合比进行了优化。当可再分散性乳胶粉掺量为2.0%,纤维素醚掺量为0.05%,消泡剂掺量为0.5%时,制备的砂浆吸水量低、力学性能优异,很好的满足了《墙体饰面砂浆》要求。
- 吴芳施强石齐
- 关键词:装饰砂浆正交试验力学性能
- 消泡剂对水泥基自流平砂浆性能的影响被引量:1
- 2016年
- 通过测定硬化后自流平砂浆上出现的泛白物质分析了产生原因及提出解决问题的方法,并通过测试水泥基自流平砂浆的流动性和强度以及观察硬化后的表面质量情况研究分析了消泡剂对水泥基自流平砂浆性能的影响。试验结果表明:水泥基自流平砂浆不稳定的主要原因是表面产生了白色物质碳酸钙,掺入消泡剂可以有效解决此问题。
- 任增洲吴芳李杨
- 关键词:水泥基自流平砂浆碳酸钙
- 新型无机锚固砂浆强度影响因素研究
- 本文采用硅酸盐水泥熟料、水淬高炉矿渣和复合激发剂组成的特种胶凝材料体系,以标准砂或特细砂为细集料制备了一种新型碱激发植筋锚固材料,讨论了熟料/矿渣比,胶砂比、溶胶比、溶液配比等组成对新型无机锚固砂浆强度的影响。
- 杨长辉陈科吴芳廖佳庆杨凯
- 关键词:建筑加固硅酸盐水泥
- 基于柔性拧紧装配的矩形橡胶密封圈轴向形变量的软测量方法
- 本发明涉及一种基于柔性拧紧装配的矩形橡胶密封圈轴向形变量的软测量方法,包括以下步骤:1)构建橡胶材料的Mooney-Rivlin本构关系模型;2)根据本构关系建立橡胶材料应变不变量和工程应力的关系模型;3)构建橡胶材料的...
- 林景栋游佳川黄锦林周宏波陈俊宏吴芳
- 文献传递
- 聚丙烯纤维控制特细砂混凝土塑性收缩裂缝试验研究被引量:11
- 2003年
- 特细砂具有平均粒径小、比表面积大的特点,用其配制的大流动性混凝土极易出现塑性收缩裂缝。因此,对特细砂混凝土塑性收缩防裂措施进行研究,具有重要的现实意义。通过平板端约束试验,研究了聚丙烯纤维掺量对特细砂混凝土塑性收缩裂缝面积、裂缝宽度以及水分蒸发速率的影响,探讨了该纤维的阻裂机理。
- 吴芳蔡贵生杨长辉王凌宇李泽刚
- 关键词:聚丙烯纤维特细砂混凝土塑性收缩裂缝水分蒸发
- Alk-Ti<Sub>3</Sub>C<Sub>2</Sub>/PDMS柔性压阻传感器的制备方法
- 本发明公开了一种高性能的Alk‑Ti<Sub>3</Sub>C<Sub>2</Sub>/PDMS柔性压阻传感器的制备方法,包括以下步骤,首先制备柔性基底结构化的PDMS柔性薄膜,然后合成导电材料二维MXene片(Ti<S...
- 方亮吴芳向宇翠张淑芳刘高斌
- 文献传递