2024年8月28日
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赵超
作品数:
6
被引量:39
H指数:3
供职机构:
吉林大学电子科学与工程学院
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发文基金:
“九五”国家科技攻关计划
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相关领域:
电子电信
理学
电气工程
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合作作者
黄锡珉
北方液晶工程研究开发中心
杨柏梁
中国科学院长春物理所
王刚
中国科学院长春物理所
杨柏梁
北方液晶工程研究开发中心
王刚
吉林彩晶数码高科显示器有限公司
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作者
6篇
赵超
4篇
杨柏梁
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黄锡珉
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王刚
2篇
佟富强
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孙良彦
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徐宝琨
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杨柏梁
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王刚
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化学研究与应...
年份
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2000
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1999
1篇
1992
1篇
1990
共
6
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低阻高透过率ITO薄膜的制备与性能
被引量:19
1999年
研究了直流磁控溅射法制备的ITO薄膜的光电特性与溅射工艺参数的关系以及退火处理对ITO薄膜光电特性的影响。在低衬底温度、低溅射功率下获得了优质的ITO薄膜,可见光透过率高于85%,在厚度为100nm时其方块电阻在150~200Ω/□之间,并且ITO薄膜的制备工艺完全与AMLCD中TFT器件的制作工艺兼容。
王刚
王刚
王刚
杨柏梁
黄锡珉
关键词:
直流磁控溅射
TIO
透过率
真空退火
CdS/CdTe太阳电池制备过程的热力学分析
1990年
本文通过热力学理论计算方法,配合实验对丝网印刷薄膜CdS/CdTe太阳电池制作过程中的复杂化学反应体系的平衡状态作了计算。给出了体系在常压下,温度从600-1100K及不同初如条件下的各物种的平衡分压图及CdO的产率图等。这些结果对认识CdS/CdTe太阳电池在烧结制备过程中的反应规律,气、固相物种的存在形态等具有一定的参考价值,较好地解释了实验中观测到的一些现象,对进一步改进制备工艺有一定的指导意义。
高省三
徐宝琨
杨红
佟富强
赵超
孙良彦
关键词:
太阳能电池
热力学
CDS
CDTE
CdS/CdTe太阳电池制备过程的热力学分析
1992年
本文通过热力学理论分析方法,配合实验,对丝网印刷薄膜CdS/CdTe太阳电池制作过程中的复杂化学反应体系的平衡状态作了计算。给出了体系在常压下、温度从600—1100K及不同初始条件下的各物种的平衡分压图及CdO的产率图等。这些结果对认识CdS/CdTe太阳电池在烧结制备过程中的反应规律以及气、固相物种的存在形态等具有一定的参考价值,较好地解释了实验中观测到的一些现象,对进一步改进制备工艺有一定的指导意义。
高省三
徐宝琨
杨红
佟富强
赵超
孙良彦
关键词:
太阳能
电池
热力学
ITO退火膜的光学和电学特性
被引量:11
1999年
对不同氧流量下用直流磁控溅射法制备的ITO薄膜进行退火处理,并对退火后ITO薄膜的光电特性进行分析.结果表明,N2气氛下退火可以改善ITO薄膜的结晶性,同时使ITO薄膜质量得到优化,并显著提高ITO薄膜的透明性和电导性.
王刚
刘宏宇
赵超
杨柏梁
黄锡珉
关键词:
ITO薄膜
氧空位
光学特性
电学特性
低阻α-Ta栅电极材料的制备与研究
被引量:2
2000年
研究了溅射Ta膜的电学和结构特性与N2气分压的关系,并确定了电学性能稳定的低阻α-Ta薄膜(电阻率34μΩ·cm)的制备工艺条件。
王刚
杨柏梁
杨柏梁
赵超
黄锡珉
关键词:
X射线衍射
方块电阻
表面无小丘Al双层栅电极结构研究
被引量:7
2000年
利用DSC方法研究了纯铝薄膜中的小丘现象,同时制备了Al双层栅电极Ta/Al、Cr/Al和Mo/Al薄膜,并在不同温度下进行了退火处理,研究了双层结构中上层金属(Ta、Cr和Mo)厚度对Al薄膜中小丘的抑制作用。实验结果表明,上层Ta膜厚度在80~90nm左右(在本实验条件下)时,可得到表面无小丘的Ta/Al薄膜栅材料。实验制备的表面无小丘 Ta/Al、 Cr/Al和 Mo/Al等栅电极材料的电阻率均在 7~20μΩ·cm之间,基本满足现今对角线为 25~51cm(10~20in)大屏幕、高清晰度TFT LCD要求。
王刚
刘宏宇
赵超
杨柏梁
黄锡珉
关键词:
应力释放
差热分析
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