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李忠
作品数:
2
被引量:9
H指数:1
供职机构:
华中理工大学固体电子学系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
电子电信
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合作作者
赵宁
华中理工大学固体电子学系
王敬义
华中理工大学固体电子学系
李兴教
华中理工大学固体电子学系
何笑明
华中理工大学固体电子学系
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文献类型
2篇
中文期刊文章
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电子电信
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一般工业技术
主题
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等离子体
2篇
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电池
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冶炼
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太阳能
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半导体
1篇
半导体材料
1篇
硅
机构
2篇
华中理工大学
作者
2篇
王敬义
2篇
李忠
2篇
赵宁
1篇
李兴教
1篇
何笑明
传媒
1篇
太阳能学报
1篇
微细加工技术
年份
2篇
1996
共
2
条 记 录,以下是 1-2
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等离子体提纯硅粉的实验研究
被引量:1
1996年
本文阐述了等离子体工艺在硅粉提纯方面的应用,在真空条件下,利用HCl或含氯气体化合物,经射频辉光放电形成等离子体与硅粉中的杂质反应,可以在较低的温度下(200℃~400℃)、较短的时间(1~2小时)内,除去硅粉中的大部分杂质,而且操作简单,功耗较低。
李忠
王敬义
何笑明
肖成章
赵宁
关键词:
等离子体
半导体材料
硅粉
提纯
一种新型廉价太阳级硅制备技术
被引量:9
1996年
介绍了一种利用辉光放电产生冷等离子体进行硅粉纯化的廉价大阳级硅制备系统,运用流体力学和低温等离子体物理学的原理对该系统中的气体流动、电场分布以及硅粉受力进行了详细的分析,建立了硅粉在该系统中的运动模型,并且对系统内硅粉运动速度进行了讨论,提出了优化冶金效果的措施。
赵宁
李忠
李兴教
王敬义
关键词:
硅粉
提纯
等离子体
冶炼
硅
太阳能电池
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