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李忠

作品数：2 被引量：9H指数：1
供职机构：华中理工大学固体电子学系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇等离子体
  • 2篇提纯
  • 2篇硅粉
  • 1篇电池
  • 1篇冶炼
  • 1篇太阳能
  • 1篇太阳能电池
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体材料
  • 1篇硅

机构

  • 2篇华中理工大学

作者

  • 2篇王敬义
  • 2篇李忠
  • 2篇赵宁
  • 1篇李兴教
  • 1篇何笑明

传媒

  • 1篇太阳能学报
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 2篇1996
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
等离子体提纯硅粉的实验研究被引量：1
1996年
本文阐述了等离子体工艺在硅粉提纯方面的应用，在真空条件下，利用ＨＣｌ或含氯气体化合物，经射频辉光放电形成等离子体与硅粉中的杂质反应，可以在较低的温度下（２００℃～４００℃）、较短的时间（１～２小时）内，除去硅粉中的大部分杂质，而且操作简单，功耗较低。
李忠王敬义何笑明肖成章赵宁
关键词：等离子体半导体材料硅粉提纯
一种新型廉价太阳级硅制备技术被引量：9
1996年
介绍了一种利用辉光放电产生冷等离子体进行硅粉纯化的廉价大阳级硅制备系统，运用流体力学和低温等离子体物理学的原理对该系统中的气体流动、电场分布以及硅粉受力进行了详细的分析，建立了硅粉在该系统中的运动模型，并且对系统内硅粉运动速度进行了讨论，提出了优化冶金效果的措施。
赵宁李忠李兴教王敬义
关键词：硅粉提纯等离子体冶炼硅太阳能电池
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共1页<1>
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