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饶浩

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇音叉
  • 3篇石英
  • 3篇硅基
  • 2篇振动
  • 2篇振动频率
  • 2篇石英音叉
  • 2篇双端
  • 2篇速度传感器
  • 2篇品质因数
  • 2篇芯片
  • 2篇梁结构
  • 2篇基石
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度传感器
  • 2篇玻璃衬底
  • 2篇衬底
  • 2篇传感器芯片

机构

  • 6篇西安交通大学

作者

  • 6篇饶浩
  • 5篇李村
  • 5篇赵玉龙
  • 1篇李瑜
  • 1篇王鑫垚
  • 1篇田边
  • 1篇赵立波
  • 1篇方续东
  • 1篇蒋庄德
  • 1篇孙昊
  • 1篇韩香广

年份

  • 1篇2022
  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
带有温度隔离结构的硅基石英加速度传感器
带有温度隔离结构的硅基石英加速度传感器，包括硅基和双端固定石英音叉，硅基上的质量块通过两个挠性梁与硅基相连，硅基表面在挠性梁同侧刻蚀有槽，槽的两端分别与质量块挠性梁和温度隔离结构下方的腔体相连，温度隔离结构由固定座和支撑...
赵玉龙李村饶浩
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一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器
本发明公开了一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器，包括依次设置的玻璃层，谐振器层以及敏感膜层，敏感膜层包括压力敏感膜和固定在压力敏感膜层上的两个硅岛；所述谐振器层包括分别与两个硅岛连接的两个可动锚点；每个可动锚点一...
方续东高博楠方子艳李瑜饶浩孙昊吴晨邓武彬吴俊侠赵立波田边韩香广王淞立王鑫垚陈兆翔蒋庄德
一种硅基四梁结构石英谐振加速度传感器芯片
一种硅基四梁结构石英谐振加速度传感器芯片，包括外围硅基支撑，外围硅基支撑与玻璃衬底通过键合连接，双端石英音叉通过有机胶一端固定在硅基支撑的凸台上，一端固定在质量块的凸台上，质量块有四根悬臂梁支撑在硅基上，玻璃衬底与硅质量...
赵玉龙李村饶浩
一种硅基四梁结构石英谐振加速度传感器芯片
一种硅基四梁结构石英谐振加速度传感器芯片，包括外围硅基支撑，外围硅基支撑与玻璃衬底通过键合连接，双端石英音叉通过有机胶一端固定在硅基支撑的凸台上，一端固定在质量块的凸台上，质量块有四根悬臂梁支撑在硅基上，玻璃衬底与硅质量...
赵玉龙李村饶浩
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带有温度隔离结构的硅基石英加速度传感器
带有温度隔离结构的硅基石英加速度传感器，包括硅基和双端固定石英音叉，硅基上的质量块通过两个挠性梁与硅基相连，硅基表面在挠性梁同侧刻蚀有槽，槽的两端分别与质量块挠性梁和温度隔离结构下方的腔体相连，温度隔离结构由固定座和支撑...
赵玉龙李村饶浩
一种硅基差动石英加速度传感器
一种硅基差动石英加速度传感器，包括相对方向安装的两个硅基和双端固定石英音叉，硅基夹在上过载保护板和下过载保护板中间；硅基、双端固定石英音叉、上过载保护板及下过载保护板组成的结构置于电路板的孔中，双端固定石英音叉通过金丝穿...
赵玉龙李村饶浩
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