您的位置： 专家智库 > >

李村

作品数：73 被引量：7H指数：2
供职机构：西安交通大学更多>>
发文基金：长江学者和创新团队发展计划国家杰出青年科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信电气工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 70篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 15篇自动化与计算...
  • 4篇电子电信
  • 3篇机械工程
  • 3篇电气工程
  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 27篇感器
  • 27篇传感
  • 27篇传感器
  • 21篇石英音叉
  • 18篇差动
  • 16篇芯片
  • 14篇音叉
  • 13篇石英
  • 12篇加速度
  • 10篇力传感器
  • 10篇硅基
  • 10篇传感器芯片
  • 9篇双端
  • 9篇加速度计
  • 8篇压力传感器
  • 8篇线性度
  • 6篇信号
  • 6篇贴装
  • 6篇频率差
  • 6篇金属

机构

  • 73篇西安交通大学
  • 1篇西安建筑科技...

作者

  • 73篇李村
  • 72篇赵玉龙
  • 37篇李波
  • 35篇韩超
  • 13篇赵友
  • 11篇张凯
  • 9篇张琪
  • 8篇蒋庄德
  • 6篇赵建华
  • 5篇饶浩
  • 5篇程荣俊
  • 3篇田边
  • 2篇杨青
  • 2篇何圣关
  • 2篇秦亚飞
  • 2篇陈烽
  • 2篇周冠武
  • 2篇柳克银
  • 2篇王磊
  • 2篇李莹雪

传媒

  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇传感技术学报
  • 1篇第十三届全国...

年份

  • 1篇2024
  • 2篇2023
  • 3篇2022
  • 17篇2021
  • 15篇2020
  • 10篇2019
  • 5篇2018
  • 8篇2017
  • 2篇2015
  • 6篇2014
  • 2篇2013
  • 2篇2012
共 73 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片
一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片，包括外围的硅基支撑框架,硅基支撑框架与质量块通过支撑转轴连接，质量块与支撑外框架之间有运动间隙，在质量块上靠近中轴线部位，开有一对完全贯通的空槽，一对双端石英音叉的谐振梁分别放置于...
赵玉龙李波李村程荣俊赵建华
一种十字岛耐高温耐腐蚀压力传感器芯片及制备方法
一种十字岛耐高温耐腐蚀压力传感器芯片及制备方法，传感器芯片包括基底中部的薄膜，薄膜下表面加工有一个十字型质量块，薄膜上表面的边缘中心或在十字型质量块尾部所对应的薄膜上表面布置四个压敏浮雕电阻条，四个压敏浮雕电阻条通过五个...
赵玉龙杨鑫婉李村郝乐张凯
文献传递
一种阶梯状环形超疏水槽的制备方法
一种阶梯状环形超疏水槽的制备方法，先通过清洗、匀胶、光刻、刻蚀在单晶硅片表面刻蚀出底部环形沟槽；然后通过重复匀胶、光刻在单晶硅片表面形成宽度大的上部光刻胶环形沟槽，上部光刻胶环形沟槽和底部环形沟槽形成阶梯状环形沟槽；最后...
李村赵玉龙徐瀚洋
一种全石英差动式谐振压力传感器芯片
一种全石英差动式谐振压力传感器芯片,包括推杆，推杆的末端通过柔性铰链和基底连接，推杆的末端两侧连接的第一双端固支音叉、第二双端固支音叉组成差动工作单元；推杆的侧面基底上设有第三双端固支音叉的作为校正工作单元的参考单元，推...
赵玉龙张全伟李村李波韩超葛晓慧
文献传递
一种双端固支石英梁谐振式真空度传感器
一种双端固支石英梁谐振式真空度传感器，底座顶端的凹槽内连接有玻璃基底和两根电极柱，电极柱穿过底座伸出外管壳外，玻璃基底用环氧树脂粘接在底座顶端的凹槽内，玻璃基底的上方配置有石英梁，石英梁由两端的第一、第二基座和中间的梁连...
赵玉龙程荣俊李村田边
文献传递
一种应变式三维力传感器
一种应变式三维力传感器，包括弹性敏感元件，弹性敏感元件的一端设有受力端，另一端设有固定端，弹性敏感元件的表面贴有电阻应变片，电阻应变片连接成惠斯通测量电桥，惠斯通测量电桥输出和信号处理电路连接；弹性敏感元件为双正交正八角...
赵友赵玉龙李村梁松博秦亚飞李波韩超马鑫王磊
文献传递
一种基于锰铜合金微纳敏感单元的切削力测量装置
一种基于锰铜合金微纳敏感单元的切削力测量装置，在刀片和刀垫之间设有切削力测量单元，切削力测量单元的形状、尺寸与刀片、刀垫匹配，切削力测量单元为三明治结构，分别为上、下氧化铝绝缘层和中间器件层，中间器件层的内部集成有基于锰...
赵友赵玉龙葛晓慧李莹雪张琪李村刘明杰赵云
文献传递
一体式隔离封装结构
一体式隔离封装结构，包括安装底座，安装底座由上腔室、下腔室以及上腔室和下腔室之间设置的分割层组成，上腔室通过上盖密封封装，下腔室通过下盖密封封装，分割层用于完全分割开上腔室和下腔室，上腔室用于传感器芯片的安装，下腔室用于...
李村韩超赵玉龙蒋庄德
文献传递
基于QoS工艺的加速度计芯片及加工工艺和加速度计
本发明提供基于QoS工艺的加速度计芯片及加工工艺和加速度计，芯片包括键合在硅基结构两侧的第一、第二石英结构，石英结构包括石英框架、双端固定石英音叉、石英支撑梁和石英质量块，硅基结构包括硅基框架和硅质量块；在石英框架和硅基...
李村韩超赵玉龙李波张全伟白冰
文献传递
一种T型交叉梁十字岛膜压力传感器芯片及制备方法
一种T型交叉梁十字岛膜压力传感器芯片及制备方法，传感器芯片包括基底中部的薄膜，薄膜上表面连接有T型交叉梁，T型交叉梁由四个相同尺寸T字梁构成，T字梁的窄端尾部相连，T字梁的宽端头部与基底连接；在基底背面刻蚀腔体内薄膜下表...
李村杨鑫婉赵玉龙郝乐张凯
文献传递
全选 清除 导出
共8页<12345678>
聚类工具0