裴文俊
- 作品数：9 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜层的制备方法
- 本发明提供一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜的制备方法，采用的膜层序列为Sub/CrNx/Ag/CrNx/SiOx/Air，制备过程中所有的蒸发源位于镜面上方，逆向热蒸发；承载铬(Cr)材料的主要部件为钨杆，承载银(Ag...
- 裴文俊刘洪祥
- 文献传递
- 一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法
- 本发明提供一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法，其采用主镜面朝上、保护膜蒸发源位于镜面上方，自上向下的制备方式，保护膜材料为一氧化硅（SiO），装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中，加热升华向下蒸发，通过氧化作用生成...
- 刘洪祥裴文俊
- 文献传递
- 一种向下热蒸发介质保护膜层的制备方法
- 本发明提供一种向下热蒸发介质保护膜层的制备方法，其特征在于：装载介质材料的蒸发源位于真空室内部上方、待镀主镜位于下方自上而下蒸发，采用常见的热蒸方式。保护膜材料为一氧化硅（SiO），装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中，加热升...
- 裴文俊刘洪祥
- 文献传递
- 逆向热蒸发制备望远镜主镜银反射膜（英文）
- 2016年
- 以自上向下热蒸发大型镀膜机为实验平台,开展了逆向蒸发制备大口径银反射镜研究.通过设计特殊蒸发舟及优化相关工艺参数,实现了金属银膜稳定、高速向下蒸发.根据逆向热蒸发工艺特点,选取熔点低、升华型材料Cr和SiO及特殊设计的蒸发舟,以Cr或CrNx为粘结层,SiOx或SiOxNy为保护层,制备了三种具有四层结构的介质保护性银反射膜,并对所制备反射镜样品的反射率、断面形貌和环境稳定性进行了表征.实验结果表明：膜系结构为3nmCr/120nmAg/0.6nmCrNx/150nmSiOxNy的银反射膜具有较好的环境稳定性和光谱特性;通过了24小时湿热实验（50℃/相对湿度98%）和盐雾实验,在400～1 800nm波段光谱范围内,银反射膜的平均反射率达到97.8%.
- 徐旭刘洪祥李斌成裴文俊
- 一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法
- 本发明提供一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法，其采用主镜面朝上、保护膜蒸发源位于镜面上方，自上向下的制备方式，保护膜材料为一氧化硅（SiO），装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中，加热升华向下蒸发，通过氧化作用生成...
- 刘洪祥裴文俊
- 一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜层的制备方法
- 本发明提供一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜的制备方法，采用的膜层序列为Sub/CrNx/Ag/CrNx/SiOx/Air，制备过程中所有的蒸发源位于镜面上方，逆向热蒸发；承载铬(Cr)材料的主要部件为钨杆，承载银(Ag...
- 裴文俊刘洪祥
- 文献传递
- 大型天文望远镜主镜镀膜技术被引量：3
- 2012年
- 采取主镜镜面向上真空蒸镀制备方式,开展了大型天文望远镜主镜铝加介质保护反射膜技术研究。结合ZZS3200型镀膜设备真空室几何配置,对传统膜厚分布计算物理模型进行了修正,分别分析了铝膜与介质膜层膜厚均匀性。结果表明:理论分析与实验数据一致,直径2.4m范围内膜厚不均匀性约5.5%。通过优化工艺,成功制备出1.8m平面镜薄膜元件,在350～1 800nm波段范围内,膜层平均反射率88.6%,通过了环境稳定性测验。
- 杜维川刘洪祥裴文俊王长军
- 关键词：均匀性反射率主镜镀膜
- 一种向下热蒸发介质保护膜层的制备方法
- 本发明提供一种向下热蒸发介质保护膜层的制备方法，其特征在于装载介质材料的蒸发源位于真空室内部上方、待镀主镜位于下方自上而下蒸发，采用常见的热蒸方式。保护膜材料为一氧化硅（SiO），装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中，加热升华...
- 裴文俊刘洪祥
- 文献传递
- 大型高真空镀膜机研制
- 为镀制φ2.4m的大型反射镜,研制了国内最大的钟罩式高真空阻蒸镀膜机,首次提出由上向下阻蒸SiO保护Al反射膜的结构。设备采用上室体固定、下室体水平移动的结构模式;使用两组四套独立的高真空抽气系统;设计两套阻蒸系统分别制...
- 裴文俊刘洪祥杜维川王长军
- 关键词：保护膜辉光放电
- 文献传递
