王长军
- 作品数：13 被引量：19H指数：2
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学化学工程更多>>
- 磁控溅射制备持久性银反射镜研究被引量：1
- 2016年
- 研究了磁控溅射制备Sub／NiCrNx／Ag／NiCrNx／SiNx／Air多层结构银反射镜的特性，分析了Nz对Ag薄膜、介质保护层及银反射镜光谱的影响。采用深度剖析X射线光电子能谱和透射电子显微镜分析了银反射镜短波波段（400-500nm）反射率偏低的原因。采用分光光度计、扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究了N2占比对Ar／N2混合气体溅射制备单层银膜光学性质、表面形貌及晶向结构的影响，比较了不同Ar／N2比例混合气体溅射制备银反射镜的反射率，并分析了对应样品SiN。保护层的化学计量比。实验结果显示，溅射制备银膜时，在Ar中引入一定比例的N2，SiNx保护层的化学计量比得到改善。当N2体积比由0上升至40％时，Ar／N2混合气体溅射制备的银反射镜在400nm波长处反射率由71．7％提高到79．3％。此外，基于Ar／N2混合气体溅射溅射制备的银反射镜样品具备优良的环境稳定性。
- 徐旭何文彦王长军魏铭李斌成
- 关键词：磁控溅射
- 大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正被引量：15
- 2007年
- 研究了2.2 m高真空箱式镀膜机镀膜时的实际膜厚分布情况。对非球面和平面光学元件,分别采用行星夹具和平面公转夹具并利用修正板调节膜厚均匀性。从实验上实现了大口径薄膜均匀性的调节,并获得较为理想的结果。口径在700 mm范围内,对于凹面均匀性可以控制在0.7%以内,平面均匀性在1%以内;口径在1 200 mm范围内凹面元件均匀性可控制在1%以内,平面1 300 mm口径以内窗口均匀性可控制在1%以内。镀制了口径在400～1 300 mm的多种天文观测上使用的反射镜、增透膜等,获得了理想的光谱曲线与较好的使用效果。
- 王长军熊胜明
- 关键词：大口径光学元件均匀性
- 一种基于透过率测量定量评估金属高反膜环境稳定性的方法
- 本发明公开了一种基于透过率测量定量评估金属高反膜环境稳定性的方法，该方法所述的金属高反膜透过率测量采用激光器作光源，通过机械斩波器强度调制后的光束经孔径光阑和扩束系统后入射到分束元件上被分为两束，一束光经过聚焦透镜后进入...
- 李斌成徐旭何文彦王长军魏铭
- 文献传递
- 非平行光倾斜入射高陡直度窄带滤光片的光谱特性分析
- 通过非平行光入射窄带滤光片的模型,数值模拟高陡直度的窄带滤光片在倾斜入射时的光谱特性,并采用磁控溅射技术制备透射带中心波长在1064nm处、入射角为17°的高陡直度窄带滤光片对数值实验加以验证。结果表明:非平行光以17°...
- 何文彦孔明东王长军
- 关键词：窄带滤光片倾斜入射透射率
- 文献传递
- 一种去除以含铬材料为粘着层的银反射薄膜的退膜工艺
- 本发明公开了一种去除以含铬材料为粘着层的银反射薄膜的退膜工艺，其包含使用去离子水和无水酒精清洁薄膜表面、试剂1去银、试剂2去铬和试剂3缓冲研磨、水洗干燥及无水酒精清洁步骤。试剂1由36％～38％浓度的盐酸、五水合硫酸铜及...
- 何文彦王长军李斌成
- 文献传递
- 大型天文望远镜主镜镀膜技术被引量：3
- 2012年
- 采取主镜镜面向上真空蒸镀制备方式,开展了大型天文望远镜主镜铝加介质保护反射膜技术研究。结合ZZS3200型镀膜设备真空室几何配置,对传统膜厚分布计算物理模型进行了修正,分别分析了铝膜与介质膜层膜厚均匀性。结果表明:理论分析与实验数据一致,直径2.4m范围内膜厚不均匀性约5.5%。通过优化工艺,成功制备出1.8m平面镜薄膜元件,在350～1 800nm波段范围内,膜层平均反射率88.6%,通过了环境稳定性测验。
- 杜维川刘洪祥裴文俊王长军
- 关键词：均匀性反射率主镜镀膜
- 基于Ag基膜系边缘部分环境稳定性提高的镀膜方法
- 基于Ag基膜系边缘部分环境稳定性提高的镀膜方法，属于光学薄膜领域，目的在于解决Ag基保护膜系反射镜环境稳定性差的问题。本发明的方法包括工装设计方法和镀膜工艺，其中工装包括与镀膜基片环面接触的介质保护膜堆镀膜工装和主反射膜...
- 苏志王长军何文彦魏铭
- 基于纳米胺结构保护层的多波段高反射Ag基膜系制备
- 2023年
- Ag基膜系具有在可见到近红外波段最高的反射率,但Ag的环境稳定性较差,易受腐蚀而导致反射率降低。采用离子束辅助电子束蒸发沉积(IAD)方式制备了不同厚度比例的Ta_(2)O_(5)-SiO_(2)纳米胺薄膜,计算出有效折射率和膜层残余应力,选用Ta_(2)O_(5)厚度占比为75%的纳米胺薄膜,进一步设计制备了纳米胺结构保护层Ag基膜系和常规两层式结构保护层Ag基膜系,实现了多波段高反射率目标,并且两种Ag基膜系的残余应力相近。在24 h湿热实验后,纳米胺结构保护层Ag基膜系的反射率红移量小于常规两层式结构保护层Ag基膜系;在144 h湿热实验后,纳米胺结构保护层Ag基膜系表面缺陷腐蚀程度小于常规两层式结构保护层Ag基膜系,结合聚焦离子束制样后利用TEM观察结果,表明纳米胺结构保护层具有更高的致密度,能够为Ag基膜系提供更优良的环境稳定性。
- 苏志何文彦魏铭王长军
- 关键词：反射率残余应力
- 大型天文望远镜反射涂层的特性被引量：2
- 2003年
- 用于天文望远镜的银增强大型反射镜,具有良好的光学特性。但银反射镜存在与玻璃基板 附着差,容易受大气污染物侵蚀的弱点。研制铜基银增强型反射镜,由于铜和银膜间的相互作用,克服了上述缺点,取得了较好的效果。
- 王晋峰王长军熊胜明张云洞
- 关键词：天文望远镜金属薄膜铝膜银膜
- 大型激光反射镜和窗口镀膜技术研究
- 大镀膜是一个比较有特色的镀膜技术，在国家863高技术项目的推动下，镀膜设备和技术不断得到更新和改进。同时遇到的问题既具有普遍性又有不同于一般小口径光学元件的特殊性。本文围绕着大型激光反射镜光学薄膜元件镀膜中的关键问题进行...
- 王长军
- 关键词：光学仪器激光反射镜镀膜工艺
