何文彦
- 作品数：12 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划中国科学院西部之光基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 磁控溅射制备持久性银反射镜研究被引量：1
- 2016年
- 研究了磁控溅射制备Sub／NiCrNx／Ag／NiCrNx／SiNx／Air多层结构银反射镜的特性，分析了Nz对Ag薄膜、介质保护层及银反射镜光谱的影响。采用深度剖析X射线光电子能谱和透射电子显微镜分析了银反射镜短波波段（400-500nm）反射率偏低的原因。采用分光光度计、扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究了N2占比对Ar／N2混合气体溅射制备单层银膜光学性质、表面形貌及晶向结构的影响，比较了不同Ar／N2比例混合气体溅射制备银反射镜的反射率，并分析了对应样品SiN。保护层的化学计量比。实验结果显示，溅射制备银膜时，在Ar中引入一定比例的N2，SiNx保护层的化学计量比得到改善。当N2体积比由0上升至40％时，Ar／N2混合气体溅射制备的银反射镜在400nm波长处反射率由71．7％提高到79．3％。此外，基于Ar／N2混合气体溅射溅射制备的银反射镜样品具备优良的环境稳定性。
- 徐旭何文彦王长军魏铭李斌成
- 关键词：磁控溅射
- SiO_2光学薄膜的吸收边特性被引量：3
- 2019年
- 二氧化硅(SiO_2)是光学系统中最常用光学薄膜材料之一,其微观结构、缺陷等信息对于研究和提高薄膜的性能具有重要作用。本文通过电子束蒸发、离子辅助、磁控溅射方法制备SiO_2薄膜并进行测试,计算出其吸收边光谱,对吸收边光谱的强吸收区、e指数区、弱吸收区进行分段分析得到SiO_2薄膜的带隙宽度、带尾能量和氧空位缺陷含量数据。进一步分析三种薄膜和其在常规退火温度下的带隙宽度、带尾能量和氧空位缺陷含量的数据,获得SiO_2薄膜的微观原子排列结构、微观缺陷信息,并对不同镀膜技术和不同退火温度下SiO_2薄膜的原子排列结构、微观缺陷的差异和变化进行了分析和讨论。
- 孔明东李斌成郭春郭春柳存定
- 关键词：SIO2薄膜
- 一种基于透过率测量定量评估金属高反膜环境稳定性的方法
- 本发明公开了一种基于透过率测量定量评估金属高反膜环境稳定性的方法，该方法所述的金属高反膜透过率测量采用激光器作光源，通过机械斩波器强度调制后的光束经孔径光阑和扩束系统后入射到分束元件上被分为两束，一束光经过聚焦透镜后进入...
- 李斌成徐旭何文彦王长军魏铭
- 文献传递
- 非平行光倾斜入射高陡直度窄带滤光片的光谱特性分析
- 通过非平行光入射窄带滤光片的模型,数值模拟高陡直度的窄带滤光片在倾斜入射时的光谱特性,并采用磁控溅射技术制备透射带中心波长在1064nm处、入射角为17°的高陡直度窄带滤光片对数值实验加以验证。结果表明:非平行光以17°...
- 何文彦孔明东王长军
- 关键词：窄带滤光片倾斜入射透射率
- 文献传递
- 一种去除以含铬材料为粘着层的银反射薄膜的退膜工艺
- 本发明公开了一种去除以含铬材料为粘着层的银反射薄膜的退膜工艺，其包含使用去离子水和无水酒精清洁薄膜表面、试剂1去银、试剂2去铬和试剂3缓冲研磨、水洗干燥及无水酒精清洁步骤。试剂1由36％～38％浓度的盐酸、五水合硫酸铜及...
- 何文彦王长军李斌成
- 文献传递
- 基于Ag基膜系边缘部分环境稳定性提高的镀膜方法
- 基于Ag基膜系边缘部分环境稳定性提高的镀膜方法，属于光学薄膜领域，目的在于解决Ag基保护膜系反射镜环境稳定性差的问题。本发明的方法包括工装设计方法和镀膜工艺，其中工装包括与镀膜基片环面接触的介质保护膜堆镀膜工装和主反射膜...
- 苏志王长军何文彦魏铭
- 非平行光束对窄带滤光片光谱性能的影响被引量：1
- 2022年
- 因为发散角和线宽效应的存在,非平行光束入射窄带滤光片时,滤光片的透射特性会发生变化。特别是在斜入射时,窄带滤光膜透射通带波形更易从矩形向三角形退化,并且伴随峰值透过率降低等负面现象。虽然已知的卷积模型可以对非平行光束入射窄带滤光片的情况进行数值模拟,但是由于制备和测量误差的阻碍,其正确性和数值模拟的准确性没有严格的实验进行验证。通过膜系优化和测量误差修正降低相应误差及其影响,并通过等离子体辅助反应磁控溅射(PARMS)的方法制备了工作角度为17°的1064 nm高性能窄带滤光片。滤光片的透射光谱分别由两款分光光度计Cary 7000和Lambda 1050测量得到。在不同条件下测得的光谱与数值模拟结果吻合得很好,充分验证了卷积模型的有效性和数值模拟的准确性。
- 何文彦孔明东孔明东魏铭
- 关键词：窄带滤光片数值模拟
- 一种去除以含铬材料为粘着层的银反射薄膜的退膜工艺
- 本发明公开了一种去除以含铬材料为粘着层的银反射薄膜的退膜工艺，其包含使用去离子水和无水酒精清洁薄膜表面、试剂1去银、试剂2去铬和试剂3缓冲研磨、水洗干燥及无水酒精清洁步骤。试剂1由36％～38％浓度的盐酸、五水合硫酸铜及...
- 何文彦王长军李斌成
- 适用于宽角度入射的全介质消偏分光棱镜及其制备方法
- 本发明公开了一种适用于宽角度入射的全介质消偏分光棱镜及其制备方法，其包含两个等腰直角棱镜及胶合其中的全介质混合材料消偏分光膜。入射光在±5°范围内入射胶合后的棱镜，会被分为两束子光束出射，分别为透射光和反射光，两者光强比...
- 何文彦孔明东魏铭王长军王强曾鹏彭小城
- 文献传递
- 基于纳米胺结构保护层的多波段高反射Ag基膜系制备
- 2023年
- Ag基膜系具有在可见到近红外波段最高的反射率,但Ag的环境稳定性较差,易受腐蚀而导致反射率降低。采用离子束辅助电子束蒸发沉积(IAD)方式制备了不同厚度比例的Ta_(2)O_(5)-SiO_(2)纳米胺薄膜,计算出有效折射率和膜层残余应力,选用Ta_(2)O_(5)厚度占比为75%的纳米胺薄膜,进一步设计制备了纳米胺结构保护层Ag基膜系和常规两层式结构保护层Ag基膜系,实现了多波段高反射率目标,并且两种Ag基膜系的残余应力相近。在24 h湿热实验后,纳米胺结构保护层Ag基膜系的反射率红移量小于常规两层式结构保护层Ag基膜系;在144 h湿热实验后,纳米胺结构保护层Ag基膜系表面缺陷腐蚀程度小于常规两层式结构保护层Ag基膜系,结合聚焦离子束制样后利用TEM观察结果,表明纳米胺结构保护层具有更高的致密度,能够为Ag基膜系提供更优良的环境稳定性。
- 苏志何文彦魏铭王长军
- 关键词：反射率残余应力
