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杜维川
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院研究生院
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相关领域:
理学
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合作作者
王长军
中国科学院光电技术研究所
刘洪祥
中国科学院光电技术研究所
裴文俊
中国科学院光电技术研究所
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2012
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大型天文望远镜主镜镀膜技术
被引量:3
2012年
采取主镜镜面向上真空蒸镀制备方式,开展了大型天文望远镜主镜铝加介质保护反射膜技术研究。结合ZZS3200型镀膜设备真空室几何配置,对传统膜厚分布计算物理模型进行了修正,分别分析了铝膜与介质膜层膜厚均匀性。结果表明:理论分析与实验数据一致,直径2.4m范围内膜厚不均匀性约5.5%。通过优化工艺,成功制备出1.8m平面镜薄膜元件,在350~1 800nm波段范围内,膜层平均反射率88.6%,通过了环境稳定性测验。
杜维川
刘洪祥
裴文俊
王长军
关键词:
均匀性
反射率
主镜
镀膜
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