王熙元
- 作品数：12 被引量：6H指数：1
- 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目北京市自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信文化科学金属学及工艺电气工程更多>>
- 激光织构的晶体硅太阳电池减反射结构研究
- 太阳电池的表面反射率是提高太阳电池效率的主要途径之一.采用激光织构制作倒金字塔结构,可有效降低硅表面的反射率,同时适用于单晶硅和多晶硅材料.激光织构倒金字塔包括激光刻槽与快速去损伤两步,制作的倒金字塔结构尺寸均匀,覆盖率...
- 朱小宁黄永光王熙元崔晓朱洪亮
- 关键词：晶体硅太阳电池产品质量
- 具有宽光谱响应的硅探测器结构及其制作方法
- 一种具有宽光谱响应的硅探测器结构，包括：一n型硅基衬底层，其表面有一圆形凹槽；一二氧化硅介质掩蔽层，形成于n型硅基衬底层表面圆形凹槽的周边，中间为环形结构；一p型参杂层，位于n型硅基衬底层的圆形凹槽内；一正面接触电极，制...
- 刘德伟黄永光朱小宁王熙元马丽朱洪亮
- 文献传递
- 具有红外响应的表面纳米点硅光电探测器结构的制作方法
- 一种具有红外响应的表面纳米点硅光电探测器结构的制作方法，包括：在p型硅基衬底的一面制作二氧化硅掩蔽层；光刻二氧化硅掩蔽层，在二氧化硅掩蔽层的中间形成一环形和圆形n型掺杂窗口；在环形和圆形n型掺杂窗口采用磷离子注入或磷扩散...
- 刘德伟黄永光朱小宁王熙元马丽朱洪亮
- 文献传递
- 在硅片上制作八边形微孔的方法
- 一种在硅片上制作八边形微孔的方法，包括如下步骤：步骤1.取一取向为(100)型的硅片；步骤2.采用脉冲激光辐照的方法，在硅片上形成微孔；步骤3.通过碱腐蚀工艺，将微孔腐蚀为八边形孔，该八边形孔的侧壁相隔出现金字塔结构和片...
- 黄永光王熙元刘德伟朱小宁王宝军朱洪亮
- 文献传递
- 具有宽光谱响应的硅探测器结构及其制作方法
- 一种具有宽光谱响应的硅探测器结构，包括：一n型硅基衬底层，其表面有一圆形凹槽；一二氧化硅介质掩蔽层，形成于n型硅基衬底层表面圆形凹槽的周边，中间为环形结构；一p型参杂层，位于n型硅基衬底层的圆形凹槽内；一正面接触电极，制...
- 刘德伟黄永光朱小宁王熙元马丽朱洪亮
- 飞秒激光与准分子激光制作碲掺杂硅探测器被引量：6
- 2013年
- 采用飞秒激光扫描P型单晶硅衬底上的碲单质膜层,实现了碲元素在硅中的N型掺杂,随后利用准分子激光对掺杂样品进行退火处理,制备了碲掺杂硅单晶材料。利用该材料研制出了在室温下具有高响应的碲掺杂硅探测器。在-4V的反向偏压下,光电响应在1000nm处达到0.86A/W,外量子效率大于106.6%;随着反向偏压的增加,光电响应增加,同时截止波长向红外方向拓展,在-8V偏压下,截止波长达到了1235nm;在-16V偏压下,测得响应在1080nm处最高达到3.27A/W。
- 王熙元黄永光刘德伟朱小宁王宝军朱洪亮
- 关键词：探测器飞秒激光准分子激光硅探测器
- 硅中硫和磷元素重掺杂引发的子带隙红外光吸收特征对比
- 本文利用离子注入单晶硅表面的方法分别研制了硫和磷重掺杂的硅材料，并对比了二者在准分子激光退火和热退火前后的光吸收率变化特征。对低于硅带隙的1100～2600NM的近红外光波段吸收率的考察发现，准分子激光退火后，磷和硫重掺...
- 崔晓黄永光刘德伟王熙元朱小宁朱洪亮
- 关键词：重掺杂激光退火
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- 飞秒激光诱导碲超饱和掺杂硅材料的表面形貌及宽谱光吸收率研究
- 近年来，采用飞秒激光诱导超饱和掺杂技术制备的黑硅材料由于宽谱高吸收特点成为光电器件研究的热点。我们用飞秒激光辐照覆盖有热蒸发沉积碲薄膜的硅片，得到超过固溶度极限的超饱和碲掺杂硅材料。材料的表面形貌强烈依赖于激光通量(激光...
- 王熙元黄永光刘德伟朱小宁朱洪亮刘泽文
- 关键词：飞秒激光表面形貌
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- EWT单晶硅太阳电池工艺与讨论
- 背接触太阳电池具有无栅线遮光、易封装等优点，是高效晶体硅太阳电池的一个重要发展方向。本文介绍了一种基于P型单晶硅衬底的EWT背接触太阳电池工艺流程，测试了器件在模拟光照下的I-V特性，讨论了激光打孔与去除热损伤、扩散发射...
- 朱小宁黄永光刘德伟王熙元崔晓王宝军朱洪亮
- 关键词：激光打孔发射极通孔金属化
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- 广谱吸收的非晶硅黑硅异质结太阳能电池结构及制作方法
- 一种广谱吸收的非晶硅黑硅异质结太阳能电池的结构，包括：一n型硅衬底；一黑硅层，该黑硅层制作在n型硅衬底上；一i型氢化非晶硅层，该i型氢化非晶硅层制作在黑硅层上；一p型氢化非晶硅层，该p型氢化非晶硅层制作在i型氢化非晶硅层...
- 黄永光朱小宁刘德伟王熙元马丽朱洪亮
- 文献传递
