2024年8月22日
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黄永光
作品数:
42
被引量:25
H指数:3
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
电气工程
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合作作者
朱洪亮
中国科学院半导体研究所
朱小宁
中国科学院半导体研究所
王宝军
中国科学院半导体研究所
刘德伟
郑州轻工业学院
王熙元
中国科学院半导体研究所
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2篇
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单片光子集成器件整片制作结构
本公开提供一种单片光子集成器件整片制作结构,其中包括多列相邻设置的集成器件单元组,每列集成器件单元组包括多个集成器件单元,每个集成器件单元包括两个光器件和刻蚀凹槽,所述两个光器件通过脊型波导串联;每列集成器件单元组中的集...
黄永光
朱洪亮
王宝军
张瑞康
文献传递
激光织构的晶体硅太阳电池减反射结构研究
太阳电池的表面反射率是提高太阳电池效率的主要途径之一.采用激光织构制作倒金字塔结构,可有效降低硅表面的反射率,同时适用于单晶硅和多晶硅材料.激光织构倒金字塔包括激光刻槽与快速去损伤两步,制作的倒金字塔结构尺寸均匀,覆盖率...
朱小宁
黄永光
王熙元
崔晓
朱洪亮
关键词:
晶体硅太阳电池
产品质量
基于磷墨的硅太阳能电池激光掺杂研究
目前,对于硅基太阳能电池,选择性掺杂已成为研制高效率电池不可避免的一步工艺,例如选择性发射级电池中电极处的重掺杂使得电极处能够形成良好的欧姆接触,非电极处的轻掺杂有利于减少表面复合,以实现太阳能电池的高的开路电压和短路电...
邓庆维
黄永光
朱洪亮
关键词:
硅太阳能电池
利用激光微区等离子体诱导量子阱混和的方法
一种利用激光微区等离子体诱导量子阱混和的方法,包括如下步骤:步骤A:在量子阱结构片上的量子阱层上沉积表面牺牲层;步骤B:激光通过具有送气功能的激光头,在表面牺牲层上聚焦,形成反应气的激光等离子体;步骤C:控制该激光等离子...
黄永光
朱洪亮
王宝军
文献传递
硅中硫和磷元素重掺杂引发的子带隙红外光吸收特征对比
本文利用离子注入单晶硅表面的方法分别研制了硫和磷重掺杂的硅材料,并对比了二者在准分子激光退火和热退火前后的光吸收率变化特征。对低于硅带隙的1100~2600nm的近红外光波段吸收率的考察发现,准分子激光退火后,磷和硫重掺...
Xiao Cui
崔晓
Yongguang Huang
黄永光
Dewei Liu
刘德伟
Xiyuan Wang
王熙元
Xiaoning Zhu
朱小宁
Hongliang Zhu
朱洪亮
关键词:
硅材料
重掺杂
红外吸收
一种制作发射极环绕型太阳电池的方法
本发明公开一种制作发射极环绕型太阳电池的方法,包括:在基片上制作呈等边三角形阵列排布的通孔阵列;将基片在碱性溶液中进行各向异性腐蚀制作减反绒面;将基片在管式扩散炉内进行杂质扩散形成发射极;在基片正面和背面制作氮化硅或氧化...
朱洪亮
朱小宁
黄永光
文献传递
具有宽光谱响应的硅探测器结构及其制作方法
一种具有宽光谱响应的硅探测器结构,包括:一n型硅基衬底层,其表面有一圆形凹槽;一二氧化硅介质掩蔽层,形成于n型硅基衬底层表面圆形凹槽的周边,中间为环形结构;一p型参杂层,位于n型硅基衬底层的圆形凹槽内;一正面接触电极,制...
刘德伟
黄永光
朱小宁
王熙元
马丽
朱洪亮
文献传递
一种制作金属环绕型太阳电池的方法
本发明公开一种制作金属环绕型太阳电池的方法,包括:在基片上制作呈等边三角形阵列排布的通孔阵列;将基片在碱性溶液中进行各向异性腐蚀制作减反绒面;将基片在管式扩散炉内进行杂质扩散形成发射极;在基片的正面和背面形成正面减反介质...
朱洪亮
黄永光
朱小宁
文献传递
基于缺陷地结构共面波导的激光器
本实用新型提供了一种基于缺陷地结构共面波导的激光器,包括:介质层(1);下表面镀金层(2),设置在介质层(1)的下表面;上表面镀金层(3)包括两部分,中间设置为信号线(4),两侧的地线上设置有缺陷,形成缺陷地结构(5);...
王建坤
黄永光
阚强
文献传递
具有红外响应的表面纳米点硅光电探测器结构的制作方法
一种具有红外响应的表面纳米点硅光电探测器结构的制作方法,包括:在p型硅基衬底的一面制作二氧化硅掩蔽层;光刻二氧化硅掩蔽层,在二氧化硅掩蔽层的中间形成一环形和圆形n型掺杂窗口;在环形和圆形n型掺杂窗口采用磷离子注入或磷扩散...
刘德伟
黄永光
朱小宁
王熙元
马丽
朱洪亮
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