李春
- 作品数:53 被引量:68H指数:5
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室更多>>
- 发文基金:国家科技重大专项国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金更多>>
- 相关领域:理学机械工程电子电信医药卫生更多>>
- 光学薄膜及元件表面激光损伤的高灵敏快速在线探测方法
- 光学薄膜及元件表面激光损伤的高灵敏快速在线探测方法涉及光学薄膜及元件的激光损伤与寿命测试领域应用,该方法以He‑Ne光散射探测法作为主要探测方法,以显微CCD成像探测法作为辅助探测方法,针对每一个测试样品点,首先采用He...
- 邓文渊金春水李春靳京城
- 文献传递
- 可见光范围镀铝反射率的研究被引量:5
- 2009年
- 介绍在可见光范围内,在玻璃基底上制备铝膜,保护膜采用高反介质膜堆。采用离子辅助手段,使其反射率在450nm~750nm波长范围内提高到95%左右。同时讨论了膜料的选择、膜系的设计、工艺参数的优化及基片清洗等问题。
- 王禹皓李春付秀华常艳贺李珊
- 关键词:镀铝介质膜
- 193nm薄膜激光诱导损伤研究被引量:1
- 2011年
- 概述了193nm薄膜激光诱导损伤的研究进展。通过对紫外到深紫外波段几种典型薄膜损伤形貌的介绍,对比分析了193nm薄膜激光诱导损伤的可能原因。指出在该波段的氧化物薄膜损伤中,吸收是导致薄膜大块损伤的重要因素,而氟化物的薄膜损伤则是由沉积过程的膜层局部缺陷造成。根据薄膜样品的损伤分析表明,薄膜的某些制备参量与激光损伤阈值相关联。为提高薄膜元件的抗激光损伤能力,分别从薄膜材料的选择、膜系设计的完善以及沉积工艺的优化等3个方面出发,总结出改善薄膜激光损伤阈值的方法。
- 常艳贺金春水邓文渊李春
- 关键词:损伤形貌激光损伤阈值
- 一种减反射膜的制备方法及大角度入射减反射膜
- 本发明涉及一种减反射膜的制备方法,包括以下步骤:步骤S100,在基底上,采用真空热沉积方法交替进行正入射沉积高折射率单层膜及低折射率单层膜;步骤S200,在最外层采用真空热沉积方法,以预设的入射沉积角度α倾斜沉积低折射率...
- 邓文渊金春水靳京城李春
- 文献传递
- 一种CaF<sub>2</sub>光学基底表面和亚表面损伤探测方法
- 本发明公开了一种CaF<Sub>2</Sub>光学基底表面和亚表面损伤探测方法。本发明的方法包括步骤:S1,对被测试CaF<Sub>2</Sub>光学基底样品表面进行处理;S2,采用激光共聚焦Raman光谱仪进行显微Ra...
- 邓文渊金春水靳京城李春
- 文献传递
- CaF2光学薄膜元件的制备方法及CaF2光学薄膜元件
- 本发明涉及一种CaF<Sub>2</Sub>光学薄膜元件的制备方法,包括以下步骤:对CaF<Sub>2</Sub>光学基底表面及亚表面层进行有效表征;对CaF<Sub>2</Sub>光学基底表面及亚表面层进行超光滑处理,...
- 邓文渊金春水靳京城李春
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- LaF3薄膜紫外性能的表征
- 193nm高反射薄膜的反射率和激光损伤阈值的高低主要取决于每层薄膜的微结构、内部缺陷、以及化学计量比等,特别是其中高折射率材料LaF3薄膜的各项性能起决定性作用。为此研究了LaF3单层薄膜制备工艺参数与性能测试结果之间的...
- 李春
- 文献传递
- 一种非均匀折射率薄膜光学常数的测量方法
- 本发明涉及一种非均匀折射率薄膜光学常数的测量方法,包括以下步骤:对薄膜进行透过率和反射率光谱测量,得到光谱测量数据;对薄膜进行变角度的椭圆偏振测量,得到椭偏参数;将光谱数据和椭偏参数拟合,配合相应的色散关系,使用非均匀模...
- 金春水常艳贺李春邓文渊靳京城
- 文献传递
- 一种清洗工装
- 本发明适用于光学基底清洗领域,公开了清洗工装,包括框体和设置在框体上的限位结构,框体包括底部支撑结构、顶部支撑结构、以及连接顶部支撑结构和底部支撑结构的连接杆,限位结构包括底板和与底板垂直连接的背板,底板安装在底部支撑结...
- 刘铭恩李春
- 文献传递
- 一种光学薄膜滤光片的制作方法
- 本发明公开了一种光学薄膜滤光片的制作方法,包括:提供一基板;在基板的正面形成第一膜系;获取第一膜系的第一应力值,且依据第一应力值计算得出基板的第一面形变化量;在基板的背面形成第二膜系;获取第二膜系的第二应力值,且依据第二...
- 姚舜李春
- 文献传递