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张磊

作品数：13 被引量：13H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：上海市科学技术委员会资助项目国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术理学更多>>

合作作者

领域

  • 11个一般工业技术
  • 9个电子电信
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  • 6个自动化与计算...
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  • 2个建筑科学
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  • 2个交通运输工程
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  • 1个经济管理
  • 1个天文地球
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主题

  • 11个氧化硅
  • 10个纳米
  • 9个化学机械抛光
  • 9个机械抛光
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机构

  • 11个中国科学院
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资助

  • 10个国家重点基础...
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传媒

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  • 2个传感器技术
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  • 2个物理学报
  • 2个武汉理工大学...

地区

  • 11个上海市
  • 1个北京市
共 12 条 记 录，以下是 1-10
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卫丽
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋志棠
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪海波
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 阳离子交换树脂 磨料 大粒径 比例控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张磊
供职机构：中国科学院
研究主题：叶片 风电叶片 翼型 尾缘 风力机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡晓凯
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 大粒径 粗糙度 半导体 凹陷
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张泽芳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 氧化硅 抛光液 蓝宝石 氧化铈
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
秦飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：命中 前飞 直升机 超宽带信号 超宽带
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘忠才
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：水玻璃 超纯 硅溶胶 常压 反应温度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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