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王辉
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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合作作者
周烽
中国科学院长春光学精密机械与物...
王丽萍
中国科学院长春光学精密机械与物...
金春水
中国科学院长春光学精密机械与物...
郭本银
中国科学院长春光学精密机械与物...
谢耀
中国科学院长春光学精密机械与物...
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周烽
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测
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王丽萍
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 光学系统 面形 极紫外光刻 波像差
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金春水
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
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郭本银
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 沥青 六自由度 微缩
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谢耀
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 极紫外光刻 极紫外 掩模
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于杰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 面形检测 点衍射干涉仪 面形误差 光学元件
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刘钰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:面形检测 表面等离子体共振 面形误差 表面等离子体 分选
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苗亮
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:面形检测 非球面 面形误差 干涉仪 测量方法
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武俊峰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:反作用飞轮 飞轮 激光 微流控芯片 离心式
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吴一辉
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:微流控芯片 光纤 飞轮 MEMS 生物传感器
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