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洪娇
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供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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河北省自然科学基金
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国家中长期科技发展规划重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
杨志欣
河北工业大学信息工程学院微电子...
李炎
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘伟娟
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
王傲尘
河北工业大学信息工程学院微电子...
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杨志欣
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:表面活性剂 BDD CMP 化学机械抛光 大分子
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研究领域
王傲尘
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:磨料 化学机械平坦化 CMP 去除速率 化学反应动力学
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李炎
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:聚苯胺 防腐涂料 磨料 涂料 聚苯胺复合
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刘伟娟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械平坦化 非均匀性 去除速率 CMP工艺
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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