2025年1月17日
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陈辉
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
上海交通大学微纳科学技术研究院
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
汤俊
上海交通大学微纳科学技术研究院
刘瑞
上海交通大学微纳科学技术研究院
毛胜平
上海交通大学微纳科学技术研究院
汪红
上海交通大学微纳科学技术研究院
丁桂甫
上海交通大学微纳科学技术研究院
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毛胜平
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 微开关 微机电系统技术 双稳态 闭锁
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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供职机构
所获资助
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汤俊
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 微机电系统 UV-LIGA 微电铸 电铸
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刘瑞
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:微机电系统 MEMS 碳纳米管 场效应晶体管 功能化碳纳米管
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