毛胜平
- 作品数：17 被引量：16H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划高等学校科技创新工程重大项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术化学工程更多>>
- 电热驱动的面内双稳态射频微开关
- 一种微机电技术领域的电热驱动的面内双稳态射频微开关，包括：电热驱动机构、机械闭锁机构和信号转换机构，其中：电热驱动机构位于机械闭锁机构的正下方，机械闭锁机构与信号转换机构相连接。本发明利用一对闭锁触头实现机械锁定，稳态保...
- 汪红毛胜平吴义伯汤俊丁桂甫
- 文献传递
- 用于MEMS领域的可图形化聚合物薄膜的制备方法
- 一种用于MEMS领域的可图形化聚合物薄膜的制备方法，包括：在基底和任何已图形化结构上依次溅射粘结层和金属种子层；通过甩光刻胶并光刻图形化，显影处理后留下了图形化的金属种子层；然后以金属种子层为阴极，惰性金属为阳极进行电泳...
- 汪红程吉凤吴义伯毛胜平吴日新丁桂甫
- MEMS中Ni-W合金薄膜力学性能的研究被引量：2
- 2009年
- 研究了柠檬酸胺—1—羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中Ni-W的力学性能。通过紫外曝光的光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术制备出微拉伸试样和单轴微拉伸测试系统进行拉伸试验。结果表明:在Ni-W薄膜试样尺寸为5μm×50μm×100μm条件下,其杨氏模量约为100.4 GPa,抗拉强度为1.96 GPa,应变约为3.6%。
- 刘瑞汪红汤俊毛胜平陈辉丁桂甫
- 关键词：微机电系统电沉积
- 弧形MEMS柔顺双稳态机构
- 一种微机电系统技术领域的弧形MEMS柔顺双稳态机构，包括：弧型梁、柔性弹簧、集中质量块和基座，其中：集中质量块固定设置于弧型梁的正中心，弧型梁的两端分别与两个相同结构的柔性弹簧的一端相连，两个柔性弹簧的另一端分别与两个相...
- 吴义伯王娟毛胜平丁桂甫张丛春汪红
- 文献传递
- MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟被引量：10
- 2008年
- 利用有限元软件ANSYS对MEMS微电铸Ni工艺进行电场模拟,研究了光刻胶厚度、线宽以及片内辅助电极参数对微结构表面电场分布均匀性的影响。根据模拟结果,利用微电铸试验研究了微结构单元尺寸以及辅助极距离和大小对于微结构层厚度均匀性的影响。模拟和试验结果均表明,微结构单元尺寸是影响其均匀性的主要因素之一,合理添加片内辅助极是提高微结构铸层厚度均匀性的有效方法。而且,有限元分析软件ANSYS可以对微结构的电镀过程进行有效的模拟分析。
- 汤俊汪红刘瑞毛胜平李雪萍王志民丁桂甫
- 关键词：微电铸MEMS有限元
- 弧形MEMS柔顺双稳态机构
- 一种微机电系统技术领域的弧形MEMS柔顺双稳态机构，包括：弧型梁、柔性弹簧、集中质量块和基座，其中：集中质量块固定设置于弧型梁的正中心，弧型梁的两端分别与两个相同结构的柔性弹簧的一端相连，两个柔性弹簧的另一端分别与两个相...
- 吴义伯王娟毛胜平丁桂甫张丛春汪红
- 文献传递
- 闭锁电热双稳态微开关研究
- MEMS继电器或开关类器件,具有线性度好、响应时间快、体积小以及便于批量制造等一系列优点。鉴于此,本文提出了一个利用双层膜效应实现电热驱动,利用悬梁交错锁定的闭锁机构实现无功耗稳态保持的微开关。这个设计充分发挥了电热微驱...
- 毛胜平
- 关键词：闭锁电热驱动微开关电泳沉积双稳态
- 文献传递
- UV-LIGA镍薄膜材料的力学性能测试与分析被引量：4
- 2010年
- 利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料。材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用。主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通过单轴拉伸方法测试了电流密度为20mA/cm2的UV-LIGA镍薄膜的力学性能。3种测试方法的结果呈现了一致的规律性变化——弹性模量显著降低,强度显著提高,表明UV-LIGA镍具有与块体镍显著不同的力学性能。通过X射线衍射分析(XRD),测量了该电流密度下试样的择优取向和晶粒尺寸,通过场发射扫描电镜(SEM)观察了试样的表面形貌和拉伸断口,并初步地分析了UV-LIGA镍力学性能的变化原因。该测试结果为微器件的仿真设计提供了重要的参考依据。
- 毛胜平汪红刘瑞汤俊李雪萍丁桂甫
- 关键词：MEMS电沉积单轴拉伸
- 基于时序双脉冲的双稳态微开关热驱动装置
- <B>一种微机电技术领域的基于时序双脉冲的双稳态微开关热驱动装置，包括：驱动单元和工作单元，其中：驱动单元为工作单元施加电压，工作单元使外接电路导通或断开。所述的驱动单元是可输出两个脉冲信号的电路板，包括：仿真芯片、驱动...
- 汪红张颖刘少伟毛胜平陈欣丁桂甫
- 文献传递
- 电热驱动的面内双稳态射频微开关
- 一种微机电技术领域的电热驱动的面内双稳态射频微开关，包括：电热驱动机构、机械闭锁机构和信号转换机构，其中：电热驱动机构位于机械闭锁机构的正下方，机械闭锁机构与信号转换机构相连接。本发明利用一对闭锁触头实现机械锁定，稳态保...
- 汪红毛胜平吴义伯汤俊丁桂甫
