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徐进

作品数:8 被引量:43H指数:3
供职机构:清华大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信机械工程金属学及工艺化学工程更多>>

领域

  • 9个化学工程
  • 9个金属学及工艺
  • 9个机械工程
  • 9个自动化与计算...
  • 8个电子电信
  • 8个一般工业技术
  • 8个理学
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  • 3个经济管理
  • 3个矿业工程
  • 3个建筑科学
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  • 2个水利工程
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主题

  • 10个抛光
  • 10个抛光液
  • 9个电子制造
  • 8个动力学
  • 8个动力学模拟
  • 8个润滑
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  • 6个单晶
  • 6个电路
  • 6个原子
  • 5个单晶硅
  • 5个弹流
  • 5个弹流润滑
  • 5个电极
  • 5个氧化硅
  • 4个氮化
  • 4个电路芯片
  • 4个动力润滑
  • 3个单层膜
  • 3个点接触

机构

  • 9个清华大学
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  • 2个清华大学研究...
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  • 1个国家自然科学...
  • 1个中国矿业大学...
  • 1个中国科学院金...

资助

  • 10个国家自然科学...
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  • 4个国家杰出青年...
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传媒

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  • 6个机械工程学报
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  • 4个2004年中...
  • 3个仪器仪表学报
  • 3个力学学报
  • 3个材料研究学报
  • 3个自然科学进展
  • 3个中国基础科学
  • 3个电子元件与材...

地区

  • 8个北京市
  • 1个上海市
  • 1个重庆市
10 条 记 录,以下是 1-10
雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张朝辉
供职机构:北京交通大学机械与电子控制工程学院
研究主题:化学机械抛光 薄膜润滑 水基润滑液 摩擦学 水溶液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张伟
供职机构:清华大学
研究主题:双极晶体管 发射区 锗硅异质结双极晶体管 发射极 基极电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏亚
供职机构:清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题:CEO PH值 稳定性 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈入领
供职机构:东华大学机械工程学院
研究主题:抛光液 组合物 抛光 磨粒 计算机硬盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段芳莉
供职机构:重庆大学
研究主题:分子动力学模拟 橡胶轴承 水润滑 纳米 润滑性能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭丹
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 原子力显微镜 扭转振动 轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡元中
供职机构:清华大学
研究主题:分子动力学模拟 碳纳米管 表面力仪 润滑 分子动力学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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