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李光

作品数：4 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 8个机械工程
  • 8个电子电信
  • 8个自动化与计算...
  • 8个一般工业技术
  • 7个理学
  • 4个轻工技术与工...
  • 4个医药卫生
  • 4个文化科学
  • 3个经济管理
  • 3个生物学
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  • 2个动力工程及工...
  • 2个电气工程
  • 2个核科学技术
  • 2个农业科学
  • 2个自然科学总论
  • 1个化学工程
  • 1个环境科学与工...

主题

  • 8个掩模
  • 6个电机
  • 6个调制
  • 5个大行程
  • 5个调焦
  • 5个叠栅条纹
  • 4个等离子体
  • 4个电机驱动
  • 4个电机轴
  • 4个电路
  • 3个待机
  • 3个待机状态
  • 3个单帧图像
  • 3个挡板
  • 3个导轨
  • 3个等离子体波
  • 3个等效
  • 3个低阶
  • 3个底面对准
  • 3个电荷耦合

机构

  • 8个中国科学院
  • 2个电子科技大学
  • 2个中国科学院研...
  • 2个中国科学院大...
  • 1个四川大学
  • 1个中国科学院重...

资助

  • 8个国家自然科学...
  • 7个国家高技术研...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个中国科学院“...
  • 3个中国科学院西...
  • 2个四川省科技支...
  • 2个国家科技重大...
  • 2个成都市科技攻...
  • 2个国家教育部博...
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  • 2个中国科学院知...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个教育部留学回...
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  • 1个国际科技合作...
  • 1个国家重点实验...
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  • 1个四川省科技计...
  • 1个中国科学院知...
  • 1个中国科学院重...

传媒

  • 8个中国激光
  • 6个激光与光电子...
  • 6个光学学报
  • 5个光电工程
  • 4个四川大学学报...
  • 4个微细加工技术
  • 4个微纳电子技术
  • 3个现代科学仪器
  • 3个红外与激光工...
  • 3个半导体技术
  • 3个光子学报
  • 3个电子工业专用...
  • 3个第十二届全国...
  • 3个2010(第...
  • 2个中国仪器仪表
  • 2个电子技术应用
  • 2个机械设计与制...
  • 2个烟草科技
  • 2个机械设计与制...
  • 2个国外电子测量...

地区

  • 7个四川省
  • 1个北京市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
陈铭勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影光刻 无掩模光刻 光刻机 投影物镜 莫尔条纹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱江平
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：莫尔条纹 叠栅条纹 数字微镜 工件台 无掩模光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐燕
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段宣明
供职机构：中国科学院理化技术研究所
研究主题：激光 双光子 飞秒激光 光刻胶 打印头
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邸成良
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：莫尔条纹 图像处理 叶丝 硅片 工件台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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