唐燕
- 作品数：108 被引量：41H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划四川省科技支撑计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 光子筛透镜组合的折衍混合消色差系统设计
- 2012年
- 光子筛作为一种衍射光学元件,具有较大的色散,不适用于宽光谱成像。光子筛的焦距随着入射波长的增大而减小,而正的折射透镜焦距随着入射波长的增大而增大。应用了折衍混合方法进行光子筛消色差的设计。该设计利用二者相反的色散特性,在光子筛的一侧紧密放置一平凸透镜,从而实现光子筛的消色差设计。并针对可见光光谱进行了设计,分析表明该方法能够实现消色差,且具有一定校正二级光谱的能力,消色差波长与中心波长处焦距相对误差为0.33%,成像光谱带宽为20nm。与普通单个光子筛相比,该方法有效拓宽了光子筛的成像光谱范围。与使用波带片的折衍混合系统相比,聚焦光斑更小。
- 何渝赵立新唐燕陈铭勇朱江平
- 关键词：几何光学色差
- 基于结构光调制的快速超分辨成像方法
- 本发明公开了一种基于结构光调制的快速超分辨成像方法，使用数字微镜阵列生成结构光，照射待测结构表面，在像方获得混叠了衍射极限之外高频信号的图像1。无结构光调制的照明光源，直接照射待测结构、经过成像系统得到的像方焦平面图像0...
- 杨可君陈楚怡谢仲业周毅刘锡唐燕赵立新胡松
- 文献传递
- 基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量被引量：16
- 2018年
- 提出了一种基于空间频域分析的白光干涉测量算法,该算法通过消除相位信息中的2π模糊来实现高精度的表面形貌测量。在频域分析中可以同时提取样品的相干形貌和相位形貌。相干形貌虽然不受2π模糊的影响,但是包含测量误差,精度较低。相位形貌虽然能够实现较高精度的表面形貌测量,但存在2π模糊问题。因此采用相干信息与相位信息相结合的方式来消除相位信息中的2π模糊。此外,针对由背景噪声和光源扰动所引起的局部相位突变,提出了相邻像素点差分分析方法,有效消除了局部相位突变,从而提高了测量的稳定性。该方法不需要复杂的计算,工作效率较高。分别从理论和实验两个方面进行分析,以验证提出方法的有效性。
- 邓钦元唐燕唐燕周毅胡松
- 关键词：白光干涉
- 准相位型光子筛设计被引量：3
- 2012年
- 提出了一种准相位型光子筛。该准相位型光子筛通过改变暗环上小孔直径与带宽的比值,对焦点处的相位分布进行调制,使通过亮环和暗环上小孔的光波在焦点处发生相长干涉,生成聚焦光斑。该准相位型光子筛无需对基底进行特殊处理,即可完成相位型光子筛的制作,降低了加工难度。和普通振幅型光子筛相比,在相同最小加工尺寸的条件下,准相位型光子筛具有较大的数值孔径,可降低聚焦光斑尺寸。并且,和多区光子筛相比,在同样的最小加工尺寸及数值孔径的条件下,准相位型光子筛光斑尺寸及质量均优于对方。为大数值孔径光子筛设计提供了一种新的设计方法。
- 唐燕胡松朱江平何渝
- 关键词：衍射相位
- 一种基于时域相移算法的高精度微纳三维测量方法
- 本发明公开了一种基于时域相移算法的高精度微纳三维测量方法，根据纵向每移动一次物体相应投影一幅相移条纹，扫描次数和投影的具有一定相位差的条纹图一一对应，CCD同步采集到携带物体高度信息的条纹图，进而通过相应算法提取物体高度...
- 刘磊唐燕谢仲业位浩杰赵立新胡松
- 文献传递
- 基于结构光照明显微系统的超薄膜器件三维形貌检测方法
- 本发明公开了一种基于结构光照明显微系统的超薄膜器件三维形貌检测方法。该方法利用等相位变化结构光条纹图案投影在被测物表面，并使用上位机进行z向扫描，用相移法获得条纹调制度随扫描距离的变化曲线，然后通过峰值提取结合非线性拟合...
- 杨可君谢仲业刘江辉冯金花唐燕赵立新胡松
- 文献传递
- 一种复合光栅纳米光刻自动对准系统
- 本发明公开了一种复合光栅纳米光刻自动对准系统，包括光路部分、图像处理部分和电路控制部分；光路部分包括激光光源、准直成像透镜、掩模板、硅片、掩模复合光栅、硅片复合光栅、分光镜、透镜和CCD图像探测器；激光通过准直成像透镜系...
- 司新春唐燕胡松魏嘉刘俊伯邓钦元周毅
- 文献传递
- 一种间隙检测系统、方法及焦面修正的方法
- 本公开提供一种间隙检测系统，用于检测模板和基板之间的全局间隙数据，包括：支撑框架；模板架，包括检焦模块，用于实时监测模板与基板之间的间隙数据；工件台模块，包括承片台，用于调整基板的位置和姿态；正立面形检测模块，用于对基板...
- 罗先刚王彦钦赵承伟龚天诚王长涛张文豪张逸云唐燕
- 一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法
- 本发明是一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法，利用Mirau型白光干涉光学系统，通过压电陶瓷移动台精密控制干涉物镜纵向扫描移动，将采集得到的一系列白光显微干涉图进行保存。首先，将所采集到的干涉灰度图转换为光强图...
- 周毅唐燕陈楚仪邓钦元谢仲业田鹏李凡星胡松赵立新
- 一种用于多层复杂微纳结构检测的结构光照明显微测量方法
- 本发明公开了一种用于多层微纳结构检测的结构光照明显微测量方法。该方法采用数字微镜阵列(DMD)产生编码光场投影到待测物体表面，利用CCD采集每一层结构的反射光强信息，通过相移算法结合二维傅里叶变换算法解析出采集图像调制度...
- 谢仲业唐燕杨可君刘锡赵立新胡松
- 文献传递
