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周毅

作品数：53 被引量：22H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 48篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 6篇电子电信
  • 5篇机械工程
  • 3篇自动化与计算...
  • 3篇理学
  • 1篇文化科学

主题

  • 24篇光刻
  • 10篇图像
  • 9篇数值孔径
  • 9篇宽光谱
  • 9篇光谱
  • 7篇调制度
  • 7篇光刻机
  • 7篇干涉图
  • 7篇超分辨
  • 6篇衍射
  • 6篇莫尔条纹
  • 6篇工件台
  • 5篇掩模
  • 5篇透镜
  • 5篇物镜
  • 5篇纳米光刻
  • 5篇镜头设计
  • 5篇工作波段
  • 5篇光学
  • 5篇白光干涉

机构

  • 53篇中国科学院
  • 4篇中国科学院大...
  • 1篇许昌职业技术...

作者

  • 53篇周毅
  • 47篇胡松
  • 47篇邓钦元
  • 34篇刘俊伯
  • 24篇唐燕
  • 23篇赵立新
  • 16篇邓茜
  • 13篇杨勇
  • 10篇田鹏
  • 9篇李凡星
  • 5篇高洪涛
  • 5篇杨帆
  • 4篇严伟
  • 3篇何渝
  • 3篇杨杰
  • 3篇杜婧
  • 2篇陈磊
  • 2篇邸成良
  • 2篇陈昌龙
  • 2篇张满

传媒

  • 2篇中国激光
  • 1篇半导体技术
  • 1篇光学学报

年份

  • 3篇2020
  • 1篇2019
  • 4篇2018
  • 19篇2017
  • 13篇2016
  • 13篇2015
共 53 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头
本发明是一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头，其光学结构为双方远心结构，物像共轭总长为l＝1500mm；其中物方视场为Φ120mm，物方数值孔径NA＝0.1。本镜头放大倍率β＝-1×，即按原比例成倒像于像面且质量较...
周毅邓钦元司新春刘俊伯胡松杨勇程依光
一种基于调制度的宽光谱微纳结构三维形貌检测方法
本发明是一种基于调制度的宽光谱微纳结构三维形貌检测方法，利用宽光谱照明光源，通过远心光学成像系统，透过Mirau干涉物镜使光线分为两束，一束反射到参考镜面，另一束透射到被测物体表面，最后两束光线发生干涉并通过光电耦合元件...
周毅邓钦元刘俊伯程依光邓茜唐燕杨勇胡松
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一种基于莫尔条纹相位分析的应变测量方法
本发明公开了一种基于莫尔条纹相位分析的应变测量方法，利用光栅结构产生莫尔条纹结构的机理，将物体结构的应变转化为莫尔条纹的形态变化，通过相位解析的方式确定物体结构的应变量。应变测量过程中平行光垂直入射到物光栅标记G1上，光...
周毅邓钦元司新春刘俊伯程依光杨勇高洪涛胡松
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一种复合光栅纳米光刻自动对准系统
本发明公开了一种复合光栅纳米光刻自动对准系统，包括光路部分、图像处理部分和电路控制部分；光路部分包括激光光源、准直成像透镜、掩模板、硅片、掩模复合光栅、硅片复合光栅、分光镜、透镜和CCD图像探测器；激光通过准直成像透镜系...
司新春唐燕胡松魏嘉刘俊伯邓钦元周毅
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一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法
本发明是一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法，利用Mirau型白光干涉光学系统，通过压电陶瓷移动台精密控制干涉物镜纵向扫描移动，将采集得到的一系列白光显微干涉图进行保存。首先，将所采集到的干涉灰度图转换为光强图...
周毅唐燕陈楚仪邓钦元谢仲业田鹏李凡星胡松赵立新
一种DMD无掩模光刻机的投影物镜镜头
本发明公开了一种用于DMD无掩模光刻机的投影物镜镜头，从入射方向开始依次设置有8枚镜片，分别为L1～L8，其中物面到光阑之间有4块镜片，镜片L3与L4胶合，光阑到像面之间有4块镜片，镜片L5与L6胶合，光栏对称构成一个双...
邓钦元周毅司新春刘俊伯胡松杨勇程依光
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一种宽波段光纤-CCD耦合成像镜头
本发明公开了一种宽波段光纤-CCD耦合成像镜头，其光学结构为物方远心，物像共轭总长为l＝71.5mm；其中物方视场8mm×8mm，物方数值孔径NA＝0.063。本镜头放大倍率β＝-0.4×，即缩小2.5倍成倒像于<Ima...
周毅刘俊伯邓钦元司新春胡松高洪涛
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一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头
本发明是一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头，其光学结构为双方远心结构，物像共轭总长为l＝1500mm；其中物方视场为Φ120mm，物方数值孔径NA＝0.1。本镜头放大倍率β＝‑1×，即按原比例成倒像于像面且质量较...
周毅邓钦元司新春刘俊伯胡松杨勇程依光
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一种点阵激光器的双远心成像系统
本发明公开了一种点阵激光器的双远心成像系统，其采用了双远心、6片结构，工作波长为532nm。该系统光学共轭总长(物方到像方)L＝168mm，像方工作距达到58mm。物方、像方远心度均控制在±0.5度以内。数值孔径达到NA...
司新春刘俊伯周毅邓钦元
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基于结构光调制的快速超分辨成像方法
本发明公开了一种基于结构光调制的快速超分辨成像方法，使用数字微镜阵列生成结构光，照射待测结构表面，在像方获得混叠了衍射极限之外高频信号的图像1。无结构光调制的照明光源，直接照射待测结构、经过成像系统得到的像方焦平面图像0...
杨可君陈楚怡谢仲业周毅刘锡唐燕赵立新胡松
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