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戎向向

作品数：3 被引量：12H指数：2
供职机构：河北工业大学信息工程学院更多>>
发文基金：河北省自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信电气工程更多>>

合作作者

领域

  • 7个电子电信
  • 3个化学工程
  • 3个金属学及工艺
  • 3个电气工程
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  • 3个一般工业技术
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  • 2个文化科学
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主题

  • 7个纳米
  • 6个铜布线
  • 6个抛光液
  • 6个去除速率
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  • 6个化学机械抛光
  • 6个机械抛光
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  • 6个CMP
  • 4个低压
  • 3个电路
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  • 2个低K材料
  • 2个低K介质
  • 2个低K介质材料
  • 2个电化学
  • 2个电化学过程
  • 2个电极
  • 2个电偶
  • 2个电偶腐蚀

机构

  • 7个河北工业大学
  • 1个河北工学院
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民政治...

资助

  • 6个国家科技重大...
  • 5个国家自然科学...
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  • 1个教育部“新世...

传媒

  • 6个微纳电子技术
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  • 2个稀有金属
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  • 2个微电子学
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  • 1个光电子．激光
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  • 1个技术与市场
  • 1个电测与仪表
  • 1个电镀与精饰
  • 1个天津科技

地区

  • 7个天津市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
郑伟艳
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 铜布线 碱性抛光液 化学机械平坦化 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王海霞
供职机构：河北工业大学信息工程学院
研究主题：IDE SOPC技术 SOPC NIOS 波形发生器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武一
供职机构：河北工业大学
研究主题：漏电保护 交流接触器 漏电 剩余电流 LABVIEW
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田巧伟
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：铜布线 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 纳米SIO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王萌
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 碱性抛光液 化学机械抛光 纳米SIO 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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