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方伟

作品数：7 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
李杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 投影物镜 剪切干涉 剪切干涉仪 子孔径拼接
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱鹏辉
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 投影物镜 点光源 子孔径拼接 测试技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐锋
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢云君
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张恒
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 极紫外光刻 仿真方法 投影物镜 接触孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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