李杰
- 作品数：36 被引量：23H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程文化科学自动化与计算机技术更多>>
- 波前传感器及波前测量方法
- 一种波前传感器及波前测量方法，其特征在于，该波前传感器包括二维随机编码混合光栅、探测器，二维随机编码混合光栅由随机编码振幅光栅和棋盘式位相光栅组成，优化了随机编码振幅光栅的像素尺寸，降低了加工难度，同时不影响波前测量精度...
- 李杰唐锋王向朝戴凤钊
- 文献传递
- 一种提高平面面形子孔径拼接检测精度的方法
- 一种提高平面面形子孔径拼接检测精度的方法，首先对待测平面光学元件进行子孔径拼接干涉测量，得到子孔径面形数据，直接拼接得到全口径面形；其次过参考镜中心对全口径面形横向采样，计算得到拼接累积误差，然后根据本发明提出的方法计算...
- 李永唐锋王向朝李杰吴飞斌
- 区域法重建遮拦波前的改进重建方法
- 一种区域法重建遮拦波前的改进重建方法，在剪切干涉仪测量共轴反射光学系统的波前中，由于光学系统中反射镜支架的存在，干涉图及差分波前中带有分割遮拦，采用一般区域法重建时，各区域之间不同的直流误差影响波前重建精度。本发明将区域...
- 李杰王向朝唐锋戴凤钊吴飞斌李永
- 文献传递
- 光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法
- 一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法，该装置包括用于产生激光光束的光源，沿光束传播方向依次是照明系统、物面光栅板、能承载物面光栅板并拥有精确定位能力的掩模台、光刻机投影物镜、波像差传感器、能承载波像差传感器...
- 李杰唐锋王向朝吴飞斌张国先郭福东
- 文献传递
- Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析被引量：7
- 2015年
- 在分析Ronchi相移剪切干涉仪典型系统参数的基础上,系统研究了该干涉仪相位提取精度的主要影响因素。结合传统的五步相移算法,采用所提出的八步与十步相移算法,对Ronchi相移剪切干涉仪的相位提取误差进行理论分析和仿真计算。仿真结果说明,八步和十步相移算法可以有效地消除多级衍射光寄生干涉对相位提取精度的影响,且十步相移算法比八步相移算法具有更高的相位提取精度;为了提高测量精度,要求相移误差优于2%;探测器位数大于10位;光栅周期误差小于1%;光源空间相干性低于0.1。通过采用不同的相移算法、剪切率和光源空间相干性的三组对比实验,对理论分析的正确性进行了验证。
- 吴飞斌唐锋王向朝李杰李永
- 一种投影物镜波像差在线检测干涉仪
- 一种投影物镜波像差在线检测干涉仪，所述检测装置结构包括光源、旋转散射器、第一聚焦透镜、光纤阵列、第二聚焦透镜、散射光学元件、物面光栅板、像面光栅板、二维光电传感器、相移控制模块和计算机；旋转散射器是由支架、电动机和圆形漫...
- 吴飞斌唐锋王向朝李杰李永
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- 一种提高平面面形子孔径拼接检测精度的方法
- 一种提高平面面形子孔径拼接检测精度的方法，首先对待测平面光学元件进行子孔径拼接干涉测量，得到子孔径面形数据，直接拼接得到全口径面形；其次过参考镜中心对全口径面形横向采样，计算得到拼接累积误差，然后根据本发明提出的方法计算...
- 李永唐锋王向朝李杰吴飞斌
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- 光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法
- 一种光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法，该干涉仪包括：光源，小孔光阑，周期相同、方向相互正交的第一光栅、第二光栅的光栅板、具有两个小孔光阑和两个方形光阑的光阑板和探测器。利用本发明光栅剪切波像差检测干涉仪检测待测系统的波...
- 李杰唐锋王向朝戴凤钊张敏
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- 光栅剪切干涉波像差测量系统误差消除方法
- <正>横向剪切干涉测量EUVL投影系统波像差,一般使用光栅作为分光元件,具有结构简单、准共光路、抗干扰等优点,但是光栅横向剪切干涉测量波像差时存在系统误差,主要包括几何光程误差、探测器倾斜误差、光栅衍射误差、光栅倾斜误差...
- 李杰唐锋王向朝
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- 光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法
- 一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法，该装置包括用于产生激光光束的光源，沿光束传播方向依次是照明系统、物面光栅板、能承载物面光栅板并拥有精确定位能力的掩模台、光刻机投影物镜、波像差传感器、能承载波像差传感器...
- 李杰唐锋王向朝吴飞斌张国先郭福东
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