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李永
作品数:
19
被引量:17
H指数:3
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
上海市自然科学基金
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相关领域:
理学
机械工程
文化科学
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合作作者
唐锋
中国科学院上海光学精密机械研究...
王向朝
中国科学院大学
吴飞斌
中国科学院大学
李杰
中国科学院大学
戴凤钊
中国科学院上海光学精密机械研究...
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作者
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李永
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王向朝
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唐锋
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2014
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光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法
一种光栅剪切波像差检测干涉仪,包括光源、聚焦镜、滤波小孔、二维光栅、光栅位移台、光阑板、光阑对准位移台和二维光电传感器。本发明检测待测光学系统的波像差,当待测光学系统经过光源照射,其波前经过光栅分离和剪切产生干涉图,将多...
李杰
唐锋
王向朝
戴凤钊
吴飞斌
李永
文献传递
用于高反射率表面高精度测量的C-D膜优化设计
<正>现代光学干涉测量技术具有快速、非接触、可全场测量、高灵敏度和高精度等特点,是高精度光学精密检测的主要方法。干涉图对比度的高低直接影响相位提取的准确性,影响干涉测量结果的准确性。通常斐索干涉仪参考镜的反射率为4%左右...
李永
唐锋
王向朝
卢云君
万修龙
郭福东
文献传递
基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法
一种基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法,该方法采用的朗奇剪切干涉仪结构包括光源、聚焦透镜、散射光学元件、一维衍射光栅板、被测光学系统平台、棋盘光栅、二维光电传感器和计算机。在被测光学系统物平面和像平面分别放置一维衍射光栅和...
吴飞斌
唐锋
王向朝
李杰
李永
文献传递
用于45度平面镜面形检测的子孔径拼接测量装置与方法
一种用于45度平面镜面形检测的子孔径拼接测量装置,包括:斐索干涉仪、第一标准镜、第二标准镜、45度平面镜、拼接位移台、二维调整架、倾斜二维调整架。本发明在被测45度平面镜上方加入反射镜,使光原路返回,对45度平面镜进行子...
李永
唐锋
王向朝
李杰
吴飞斌
文献传递
投影物镜波像差在线检测装置和检测方法
一种投影物镜波像差在线检测装置和方法,所述检测装置结构包括光源、旋转散射器、第一聚焦透镜、光纤阵列、第二聚焦透镜、散射光学元件、物面光栅板、像面光栅板、二维光电传感器、相移控制模块和计算机;旋转散射器是由支架、电动机和圆...
吴飞斌
唐锋
王向朝
李杰
李永
文献传递
一种45度平面镜的面形检测装置
一种45度平面镜的面形检测装置,包括:斐索干涉仪、第一标准镜、第二标准镜、45度平面镜、拼接位移台、二维调整架、倾斜二维调整架。本实用新型在被测45度平面镜上方加入反射镜,使光原路返回,对45度平面镜进行子孔径拼接干涉测...
李永
唐锋
王向朝
李杰
吴飞斌
文献传递
区域法重建遮拦波前的改进重建方法
一种区域法重建遮拦波前的改进重建方法,在剪切干涉仪测量共轴反射光学系统的波前中,由于光学系统中反射镜支架的存在,干涉图及差分波前中带有分割遮拦,采用一般区域法重建时,各区域之间不同的直流误差影响波前重建精度。本发明将区域...
李杰
王向朝
唐锋
戴凤钊
吴飞斌
李永
文献传递
Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析
被引量:7
2015年
在分析Ronchi相移剪切干涉仪典型系统参数的基础上,系统研究了该干涉仪相位提取精度的主要影响因素。结合传统的五步相移算法,采用所提出的八步与十步相移算法,对Ronchi相移剪切干涉仪的相位提取误差进行理论分析和仿真计算。仿真结果说明,八步和十步相移算法可以有效地消除多级衍射光寄生干涉对相位提取精度的影响,且十步相移算法比八步相移算法具有更高的相位提取精度;为了提高测量精度,要求相移误差优于2%;探测器位数大于10位;光栅周期误差小于1%;光源空间相干性低于0.1。通过采用不同的相移算法、剪切率和光源空间相干性的三组对比实验,对理论分析的正确性进行了验证。
吴飞斌
唐锋
王向朝
李杰
李永
一种投影物镜波像差在线检测干涉仪
一种投影物镜波像差在线检测干涉仪,所述检测装置结构包括光源、旋转散射器、第一聚焦透镜、光纤阵列、第二聚焦透镜、散射光学元件、物面光栅板、像面光栅板、二维光电传感器、相移控制模块和计算机;旋转散射器是由支架、电动机和圆形漫...
吴飞斌
唐锋
王向朝
李杰
李永
文献传递
一种提高平面面形子孔径拼接检测精度的方法
一种提高平面面形子孔径拼接检测精度的方法,首先对待测平面光学元件进行子孔径拼接干涉测量,得到子孔径面形数据,直接拼接得到全口径面形;其次过参考镜中心对全口径面形横向采样,计算得到拼接累积误差,然后根据本发明提出的方法计算...
李永
唐锋
王向朝
李杰
吴飞斌
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