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张泽芳
作品数:
12
被引量:17
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
上海市科学技术委员会资助项目
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合作作者
刘卫丽
中国科学院上海微系统与信息技术...
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
俞磊
中国科学院研究生院
张磊
中国科学院上海微系统与信息技术...
汪海波
中国科学院研究生院
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刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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俞磊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 材料结构 氧化铈 反射光 纳米孔
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张磊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:振荡器 晶向 谐振结构 振动梁 重掺杂
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汪海波
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 阳离子交换树脂 磨料 大粒径 比例控制
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潘忠才
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:水玻璃 超纯 硅溶胶 常压 反应温度
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闫未霞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 抛光 材料结构 反射光
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侯蕾
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:抛光液 LED 氧化硅 蓝宝石 纳米SIO
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秦飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:命中 前飞 直升机 超宽带信号 超宽带
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张磊
供职机构:中国科学院
研究主题:叶片 风电叶片 翼型 尾缘 风力机
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