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王俊

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：苏州大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

领域

  • 3个理学
  • 2个动力工程及工...
  • 2个电子电信
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  • 1个金属学及工艺
  • 1个机械工程
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  • 1个建筑科学
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个一般工业技术
  • 1个自然科学总论

主题

  • 3个等离子体
  • 3个电负性
  • 3个甚高频
  • 3个激光
  • 3个激光诱导
  • 3个光致
  • 1个带隙
  • 1个单晶
  • 1个单晶硅
  • 1个单晶硅片
  • 1个氮化
  • 1个氮化钛
  • 1个等离子
  • 1个等离子刻蚀
  • 1个等离子体处理
  • 1个等离子体技术
  • 1个等离子体加工
  • 1个等离子体浸没...
  • 1个等离子体刻蚀
  • 1个等离子体密度

机构

  • 3个苏州大学
  • 1个南京大学
  • 1个江苏省薄膜材...

资助

  • 3个国家自然科学...
  • 1个江苏省自然科...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个江苏省高校省...
  • 1个江苏省高校省...
  • 1个江苏省重点实...

传媒

  • 3个物理学报
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  • 2个真空科学与技...
  • 1个半导体技术
  • 1个物理
  • 1个表面技术
  • 1个功能材料
  • 1个实验室研究与...
  • 1个真空科学与技...
  • 1个材料科学与工...
  • 1个功能材料与器...
  • 1个苏州大学学报...
  • 1个电池工业
  • 1个中国真空学会...
  • 1个第十三届全国...
  • 1个中国真空学会...

地区

  • 3个江苏省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
辛煜
供职机构：苏州大学
研究主题：感应耦合等离子体 等离子体 发射光谱 A-C 氟化非晶碳薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王涛
供职机构：苏州大学
研究主题：光致 激光诱导 电负性 SI 概率分布函数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨郁
供职机构：苏州大学
研究主题：光致 激光诱导 甚高频 等离子体 AR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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