- 容性耦合电负性氧等离子体的激光诱导光致剥离技术诊断研究被引量：1
- 2017年
- 采用波长532nm的高能脉冲激光束照射40.68MHz激发的容性耦合氧等离子体,并给处于激光束中央的探针施加一定的正偏压,由此诊断氧等离子体的空间电位和电负度。实验结果表明,探针偏压从0V逐渐增加时,探针搜集的电流波形从V型向倒U型转变,转变电压点正是电负性等离子体的空间电位。尝试着给出了运用激光诱导光致剥离技术诊断电负性等离子体空间电位的经验方法。另外,探针上施加的正偏压高于等离子体空间电位时,等离子体的电负度基本保持不变。实验还表明,氧等离子体的电负度随着射频输入功率的增加而呈现下降的趋势。
- 王涛王俊唐成双杨郁辛煜
- 甚高频激发的容性耦合Ar+O_2等离子体电负特性研究被引量：2
- 2017年
- 利用探针辅助的脉冲激光诱导负离子剥离诊断技术对掺入5%O_2的容性耦合Ar等离子体电负特性进行了诊断研究.首先详细解析了脉冲激光剥离后探针的电信号,分析了探针偏压在低于或高于空间电位下的探针收集信号特征;根据探针偏压与探针收集信号之间的依赖关系,用来描述Ar+O_2等离子体电负特性的等离子体电负度被定义为脉冲激光剥离出的电子电流与偏压高于空间电位的探针收集到的背景电子电流的饱和比值,并对等离子体电负度随放电气压、射频功率以及轴向位置的变化进行了诊断测量.实验结果表明等离子体的电负度随着射频功率的增加而减小、随着放电气压的上升而变大;由于非对称电极的分布特性,在轴向方向上靠近功率电极时等离子体电负度有升高的趋势,这种趋势可能与鞘层边界附近二次电子的动力学行为以及负离子的产生与消失过程有关.
- 杨郁唐成双赵一帆虞一青辛煜
- 甚高频激发的容性耦合Ar/O2等离子体的激光诱导诊断研究
- 容性耦合电负性等离子体在表面处理领域中应用广泛,例如,在微电子行业中通过等离子体刻蚀来得到特定的表面形貌,在聚合物表面生成一些功能性基团等。负离子的形成对反应性等离子体的动力学与动态演变影响很大,尤其是对带电粒子平衡和电...
- 杨郁
- 关键词：LANGMUIR探针
- 文献传递
