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王峰
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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文化科学
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合作作者
刘晨曦
北京七星华创电子股份有限公司
张芳
北京七星华创电子股份有限公司
程朝阳
北京七星华创电子股份有限公司
张海轮
北京七星华创电子股份有限公司
付运涛
北京七星华创电子股份有限公司
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刘晨曦
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体工艺设备 半导体工艺 减速 脉冲 温控系统
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张芳
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 硅片 参量 LPC 氧化炉
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周峰
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 氧化炉 控制方法 开关 碰撞
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王健
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体 安全隐患 绝缘材料 凸台 通孔
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张乾
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 炉体 温度补偿方法 温度补偿 半导体
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程朝阳
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 氧化炉 立式 扩散炉 立式炉
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付运涛
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体工艺 氧化炉 半导体设备 控制装置 炉体
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邰晶
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:减速 脉冲 数字传感器 传感器 搜索
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张海轮
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 氧化炉 控制方法 立式 硅片
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孙少东
供职机构:淮安信息职业技术学院
研究主题:炉体 半导体 立式 半导体工艺设备 立式炉
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