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曾艳丽
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北京七星华创电子股份有限公司
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合作作者
程朝阳
北京七星华创电子股份有限公司
张芳
北京七星华创电子股份有限公司
王晓卫
北京七星华创电子股份有限公司
董金卫
北京七星华创电子股份有限公司
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程朝阳
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 氧化炉 立式 扩散炉 立式炉
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张芳
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 硅片 参量 LPC 氧化炉
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董金卫
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 立式 氧化炉 热偶 半导体
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王晓卫
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:氧化炉 报警系统 安全门 安全报警 气体压力
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