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崔娟娟

作品数：5 被引量：0H指数：0
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合作作者

领域

  • 2个自动化与计算...
  • 1个电子电信

主题

  • 3个支承
  • 3个气体流量
  • 3个气体浓度
  • 3个气体压力
  • 3个轴向
  • 3个温度均匀性
  • 3个温度控制
  • 3个温度控制装置
  • 3个模块化
  • 3个模块化结构
  • 3个进气
  • 3个精确控制
  • 3个均匀性
  • 2个灯组
  • 2个电偶
  • 2个排气
  • 2个排气法
  • 2个热电偶
  • 2个轴承
  • 2个外延层

机构

  • 5个北京七星华创...
  • 1个东北大学
  • 1个同济大学

资助

  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个国际科技合作...
  • 1个上海市国际科...
  • 1个上海市科委科...
  • 1个中央高校基本...

传媒

  • 1个仪器仪表学报
  • 1个同济大学学报...
  • 1个控制理论与应...
  • 1个电子工业专用...

地区

  • 5个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
刘俊豪
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：网络控制系统 一致有界性 非线性系统 SUB 编码处理
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程朝阳
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 氧化炉 立式 扩散炉 立式炉
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马超
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：测温热电偶 测温 波纹管 半导体设备 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李一吾
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：固定螺钉 接口连接 接口 螺柱 流体
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刘东
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片表面 化学吸附 温度梯度 前驱物 真空系统
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