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王伟忠

作品数：15 被引量：32H指数：2
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术交通运输工程更多>>

合作作者

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地区

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共 5 条 记 录，以下是 1-5
杨拥军
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何洪涛
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 硅 芯片 微电子机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜少博
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：膜结构 MEMS MEMS压力传感器 高深宽比 光刻工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卞玉民
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 绝缘体上硅 硅 MEMS加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡立业
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS ANSYS软件 SIC 压阻式 高温压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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