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田中卓
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供职机构:
中国科学院物理研究所
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合作作者
袁磊
中国科学院物理研究所
常香荣
中国科学院物理研究所
顾有松
中国科学院物理研究所
段振军
中国科学院物理研究所
赵敏学
中国科学院物理研究所
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赵敏学
供职机构:中国人民武装警察部队学院
研究主题:碳氮薄膜 晶相 指标体系 火灾事故 X射线衍射
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袁磊
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:化学气相沉积 氮化碳 MPCVD 微波等离子体 氮化碳薄膜
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段振军
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:氮化碳薄膜 工作气体 晶相 微波等离子体化学气相沉积 气体放电
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顾有松
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:氮化碳薄膜 工作气体 晶相 微波等离子体化学气相沉积 气体放电
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所获资助
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常香荣
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:氮化碳薄膜 工作气体 晶相 微波等离子体化学气相沉积 气体放电
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所获资助
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