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段振军
作品数:
2
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供职机构:
中国科学院物理研究所
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合作作者
袁磊
中国科学院物理研究所
田中卓
中国科学院物理研究所
常香荣
中国科学院物理研究所
顾有松
中国科学院物理研究所
赵敏学
中国科学院物理研究所
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作者
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赵敏学
2篇
段振军
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顾有松
2篇
常香荣
2篇
田中卓
2篇
袁磊
年份
1篇
2002
1篇
1999
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微波等离子体化学气相沉积合成晶相碳氮薄膜
本发明涉及用微波等离子体化学气相沉积法合成碳氮薄膜及装置。将基片经过预处理后,置于工作腔内,按一定比例通入工作气体,然后将微波通入工作腔内,使气体放电产生等离子体从而沉积薄膜。用这种方法合成的氮化碳薄膜均匀、致密,无杂质...
田中卓
袁磊
顾有松
段振军
常香荣
赵敏学
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微波等离子体化学气相沉积合成晶相碳氮薄膜
本发明涉及用微波等离子体化学气相沉积法合成碳氮薄膜及装置。将基片经过预处理后,置于工作腔内,按一定比例通入工作气体,然后将微波通入工作腔内,使气体放电产生等离子体从而沉积薄膜。用这种方法合成的氮化碳薄膜均匀、致密,无杂质...
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