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刘俊伯

作品数:98 被引量:21H指数:3
供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 34个电子电信
  • 33个机械工程
  • 32个自动化与计算...
  • 31个理学
  • 21个文化科学
  • 19个一般工业技术
  • 10个轻工技术与工...
  • 8个电气工程
  • 7个经济管理
  • 7个生物学
  • 7个医药卫生
  • 5个金属学及工艺
  • 5个农业科学
  • 3个动力工程及工...
  • 2个化学工程
  • 2个核科学技术
  • 2个自然科学总论
  • 1个天文地球
  • 1个建筑科学
  • 1个交通运输工程

主题

  • 34个光刻
  • 33个图像
  • 32个光学
  • 31个掩模
  • 29个工件台
  • 29个光刻机
  • 28个条纹
  • 26个投影光刻
  • 26个光栅
  • 25个物镜
  • 25个硅片
  • 25个成像
  • 24个衍射
  • 24个投影光刻机
  • 24个激光
  • 22个掩模板
  • 19个电机
  • 18个叠栅条纹
  • 16个调焦
  • 15个调制

机构

  • 36个中国科学院
  • 11个中国科学院大...
  • 8个中国科学院研...
  • 3个电子科技大学
  • 2个华南理工大学
  • 1个四川大学
  • 1个天津大学
  • 1个许昌职业技术...
  • 1个西藏自治区气...
  • 1个西藏自治区气...

资助

  • 32个国家自然科学...
  • 15个国家高技术研...
  • 8个四川省科技支...
  • 6个四川省杰出青...
  • 5个国家科技重大...
  • 4个成都市科技攻...
  • 4个中国科学院知...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个中国科学院“...
  • 3个中国科学院西...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个国家重点实验...
  • 2个四川省科技计...
  • 2个中国科学院知...
  • 2个四川省教育厅...
  • 1个广东省自然科...
  • 1个河南省科技攻...
  • 1个教育部留学回...
  • 1个四川省自然科...
  • 1个广州市科技计...

传媒

  • 25个光学学报
  • 20个光电工程
  • 17个中国激光
  • 14个激光与光电子...
  • 13个微纳电子技术
  • 10个电子工业专用...
  • 9个红外与激光工...
  • 9个微细加工技术
  • 8个四川大学学报...
  • 7个光子学报
  • 5个半导体技术
  • 5个计测技术
  • 4个现代科学仪器
  • 4个电子技术应用
  • 4个机械设计与制...
  • 4个半导体光电
  • 4个第十一届全国...
  • 3个中国仪器仪表
  • 3个光学精密工程
  • 3个制造业自动化

地区

  • 33个四川省
  • 2个广东省
  • 1个河南省
  • 1个西藏
37 条 记 录,以下是 1-10
胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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周毅
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 超分辨 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓钦元
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 光刻机 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜婧
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻机 掩模 镜片 镜筒 铰链
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐燕
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全海洋
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 波像差 光学元件 双通道 大口径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何渝
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 数字微镜 衍射 工件台 成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王建
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束 镜片 动镜 投影光刻机 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓茜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 光场分布 自成像 干涉图 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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