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刘俊伯
作品数:
98
被引量:21
H指数:3
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
电子电信
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自动化与计算机技术
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合作作者
胡松
中国科学院光电技术研究所
周毅
中国科学院大学
邓钦元
中国科学院大学
赵立新
中国科学院光电技术研究所
杜婧
中国科学院光电技术研究所
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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周毅
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 超分辨 光刻机
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邓钦元
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 光刻机 光刻
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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杜婧
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻机 掩模 镜片 镜筒 铰链
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唐燕
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
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全海洋
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 波像差 光学元件 双通道 大口径
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何渝
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 数字微镜 衍射 工件台 成像
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王建
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束 镜片 动镜 投影光刻机 波像差
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所获资助
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邓茜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 光场分布 自成像 干涉图 硅片
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