2024年8月20日
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胡松
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466
被引量:433
H指数:8
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
中国科学院知识创新工程重要方向项目
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相关领域:
电子电信
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理学
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合作作者
赵立新
中国科学院光电技术研究所
严伟
中国科学院研究生院
唐燕
中国科学院光电技术研究所
刘俊伯
中国科学院大学
唐小萍
中国科学院光电技术研究所
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
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唐燕
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品
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所获资助
研究领域
刘俊伯
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
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唐小萍
供职机构:西藏自治区气候中心
研究主题:生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
杨勇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
发表作品
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邢薇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 生物芯片 掩模 动镜 片夹
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周毅
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 超分辨 光刻机
发表作品
相关人物
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所获资助
研究领域
姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
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供职机构
所获资助
研究领域
邓钦元
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 光刻机 光刻
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