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李志宏
作品数:
31
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H指数:6
供职机构:
北京大学信息科学技术学院
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发文基金:
国家自然科学基金
北京市自然科学基金
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合作作者
郝一龙
北京大学信息科学技术学院微米纳...
武国英
北京大学信息科学技术学院微电子...
张国炳
北京大学信息科学技术学院微米纳...
王玮
微米纳米加工技术国家级重点实验...
王展飞
北京大学微电子学研究院
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 硅 微电子机械系统 英文
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供职机构
所获资助
研究领域
武国英
供职机构:北京大学
研究主题:硅化物 硅 SOI 微机电系统 陀螺
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所获资助
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张国炳
供职机构:北京大学
研究主题:硅化物 多晶硅 离子注入 微机电系统 MEMS
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王玮
供职机构:北京大学信息科学技术学院微电子研究院
研究主题:硅 数据挖掘 探测器 共晶键合 金属薄膜
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田大宇
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
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郭辉
供职机构:北京大学信息科学技术学院
研究主题:MEMS SIC 谐振器 碳化硅 操作系统
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王煜
供职机构:北京大学
研究主题:应力控制 MEMS SIC 抗腐蚀 离子注入
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王展飞
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS陀螺 DELTA-SIGMA调制器 DELTA-SIGMA 电容检测 电容传感器
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相关人物
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王阳元
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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研究领域
张海霞
供职机构:北京大学
研究主题:发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
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