武国英
- 作品数：61 被引量：245H指数：9
- 供职机构：北京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>
- 基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器(英文)被引量：1
- 2006年
- 研究了一种基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器.该传感器在敏感环境中,可同时获得敏感膜电导率和质量变化,测量被测气体分子的荷质比,具有高灵敏度和高选择性.根据这一原理,针对气体传感器的需求,设计了硅悬臂梁谐振器化学传感器结构,进行了仿真优化,并采用MEMS表面牺牲层工艺制备该器件,激光频率仪测量验证了该微型谐振梁的谐振频率.
- 郝一龙徐佳嘉张国炳武国英闫桂珍
- 关键词：MEMS气体传感器
- 钛溅射和硅化钛形成在硅中引进深能级的研究
- 1993年
- 利用DLTS技术详细研究经钛溅射和RTA950℃处理在n型和p型硅里引进的深能级.结果表明在n型硅里有二个,在p型硅里有三个深能级生成.这些能级的浓度在10^(13)—10^(14)cm^(-3)之间.它们的产生可归因于替位钛原子,钛与RTA相互作用的络合物.
- 卢励吾周洁武国英
- 关键词：硅化物溅射深能级
- 具有隔离结构的横向接触式体硅微机械继电器被引量：4
- 2004年
- 介绍了一种横向接触式体硅微机械继电器。这种继电器采用硅 玻璃键合及深刻蚀(DRIE)工艺加工 ,并利用多晶硅填槽形成隔离结构。继电器采用静电激励 ,横向驱动。分析了继电器静电激励的阈值电压 ,介绍了一种在有限元仿真工具ANSYSTM 下用降解模型 (ROM)分析阈值电压的方法 。
- 杨振川李婷郝一龙武国英
- 关键词：微机电系统微型继电器有限元仿真降解模型
- 一种用于表面工艺多晶硅结构释放的方法
- 本发明是一种用于表面工艺多晶硅结构释放的方法。通常采用的表面牺牲层工艺，在腐蚀后的清洗干燥过程中，多晶硅结构由于处理液的张力会粘附到衬底上。;本发明在多晶硅结构制备的过程中，同时形成许多与衬底相连的多晶硅支柱；并分别利用...
- 肖志雄郝一龙张国炳李婷张大成刘诗美李志宏陈文茹武国英王阳元
- 文献传递
- 微夹钳研究的进展与展望被引量：23
- 2000年
- 微夹钳技术是微机械技术的重要内容之一。本文首先论述了微夹钳的应用背景，回顾了微夹钳技术研究的历史及现状；对目前国内外所研究的微夹钳进行了分类，并对其结构工艺与工作原理进行了分析；最后，对微夹钳技术的发展进行了展望。
- 张培玉武国英郝一龙李志军
- 关键词：微机电系统
- 一种水平轴微机械陀螺及其制备方法
- 本发明涉及一种水平轴微机械陀螺及其制备方法，其特征在于：它包括外框，内框，驱动电极，驱动反馈电极，驱动模态弹性梁，检测电极，检测模态弹性梁和锚点，所述驱动电极和驱动反馈电极均采用两组横向梳齿电容，所述外框通过驱动模态的弹...
- 杨振川闫桂珍刘雪松郝一龙武国英
- 文献传递
- DEM技术研究被引量：30
- 1998年
- 首次提出用ＤＥＭ（Ｄｅｅｐｅｔｃｈｉｎｇ，Ｅｌｅｃｔｒｏｆｏｒｍｉｎｇ，Ｍｉｃｒｏｒｅｐｌｉｃａｔｉｏｎ）技术进行非硅材料三维微机械加工，该技术吸收了体硅微加工技术和ＬＩＧＡ技术的优点，解决了ＬＩＧＡ技术的光源问题。目前利用该技术已获得了微复制模具雏形，其加工深度已达到１８０μｍ，深宽比大于２０。利用该技术可对非硅材料，如金属、塑料或陶瓷进行三维微加工。该技术的开发成功，可望成为一项全新的三维微加工技术。
- 陈迪张大成丁桂甫赵小林赵小林杨春生章吉良武国英
- 关键词：DEM技术深层刻蚀微电铸LIGA技术
- 一种横向检测式陀螺
- 本发明是一种横向检测式陀螺，它是利用科立奥利力检测角速度的一种仪器。本发明立足于半导体的版图设计，在横向检测式微硅陀螺质量块上的四角处配置对称的八根梁，使得驱动与检测两方向的固有频率安全一致，以使得该陀螺的性能最佳。它是...
- 肖志雄李志宏郝一龙武国英王阳元
- 文献传递
- 一种新型电容式加速度计ASIC接口电路
- 在分析了电容对电荷的传输特性的基础上,提出了一种新的集成化电容式加速度计ASIC接口电路,文中阐述了电路的工作原理以及相关的特性.在250kHz的时钟频率下,给出了HSPICE仿真结果.
- 郝跃国倪学文武国英郝一龙
- 关键词：电容式加速度计开关电容运算放大器比较器滤波器
- 文献传递
- Au-GaN肖特基结的伏安特性被引量：5
- 2000年
- 在 MBE和 MOCVD两种方法制备的 n- Ga N材料上制作了 Au- Ga N肖特基结 ,测定了肖特基结的室温 I- V特性 .分析表明 :Ga
- 林兆军张太平武国英王玮阎桂珍孙殿照张建平张国义
- 关键词：MBEMOCVD肖特基结伏安特性氮化镓
