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张国炳
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33
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H指数:3
供职机构:
北京大学
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发文基金:
北京市自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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电子电信
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合作作者
武国英
北京大学信息科学技术学院微米纳...
田大宇
北京大学信息科学技术学院微米纳...
郝一龙
北京大学信息科学技术学院微米纳...
王阳元
北京大学信息科学技术学院微电子...
张海霞
北京大学信息科学技术学院微米纳...
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武国英
供职机构:北京大学
研究主题:硅化物 硅 SOI 微机电系统 陀螺
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田大宇
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 硅 微电子机械系统 英文
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王阳元
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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王煜
供职机构:北京大学
研究主题:应力控制 MEMS SIC 抗腐蚀 离子注入
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张海霞
供职机构:北京大学
研究主题:发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
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李志宏
供职机构:北京大学
研究主题:电极 微针 针尖 微机电系统 芯片
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李志宏
供职机构:北京大学信息科学技术学院
研究主题:MEMS 硅 VLSI 微机电系统 微电子机械系统
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徐立
供职机构:北京大学
研究主题:硅化物 集成电路 SOI 自对准硅化物 硅
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郭辉
供职机构:北京大学信息科学技术学院
研究主题:MEMS SIC 谐振器 碳化硅 操作系统
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