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李广

作品数：25 被引量：8H指数：2
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学水利工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 18个电子电信
  • 16个自动化与计算...
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  • 15个理学
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  • 4个自然科学总论
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  • 3个建筑科学
  • 3个轻工技术与工...

主题

  • 17个光刻
  • 15个导轨
  • 15个电机
  • 14个永磁
  • 13个大行程
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  • 9个电磁力
  • 9个电机线圈
  • 9个叠层结构
  • 8个动力学
  • 7个电机定子
  • 7个电枢

机构

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  • 1个北京工业大学
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  • 1个华东交通大学
  • 1个上海应用技术...

资助

  • 16个国家自然科学...
  • 15个国家重点基础...
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传媒

  • 12个清华大学学报...
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  • 4个仪器仪表学报
  • 4个中国机械工程
  • 4个微特电机
  • 4个润滑与密封
  • 4个工具技术
  • 3个汽轮机技术

地区

  • 17个北京市
  • 1个湖北省
  • 1个上海市
  • 1个广东省
共 21 条 记 录，以下是 1-10
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段广洪
供职机构：清华大学深圳研究生院
研究主题：光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪劲松
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐登峰
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闵伟
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 套刻精度 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡金春
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾松涛
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 微动工作台 精密工作台 气浮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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